补充一些信息,但没量可能也就没戏,当学为主了。
半导体设备零部件需求展望 专家会议要点
1、 半导体零部件供应整体现状与趋势
卡脖子品类与价格趋势:先进制程相关的涂层类、静电卡盘(E-chuck)、射频电源、真空泵、真空阀等零部件当前国产化率较低,存在卡脖子问题;2026年上半年相关零部件已出现价格上涨,若下半年M
ATCH 法案落地,预计价格将进一步上涨、交期拉长。
海外零部件厂商产能特点:海外厂商不会因为国内需求的短期波动扩大产能,因此供需紧张时零部件会出现交期拉长、价格递增的情况。
分制程零部件国产化率:先进制程中,海外采购零部件价值占比约80%,国内自研/采购占比不足20%;成熟制程中,国内自研/采购零部件价值占比约40%-50%,海外采购占比约50%-60%。
2、射频电源
涨价幅度:先进制程用射频电源涨价幅度为13%-15%,海外供应商以霍廷格、AE为主。
恒运昌:主攻PECVD用3-6000瓦低功率射频电源,产品成熟,主要配套拓荆,成熟制程领域份额较高,未布局高功率刻蚀用射频电源。
英杰电气:主攻刻蚀设备用射频电源,但12千瓦以上先进制程用高功率射频电源技术仍较落后,未进入长存、
长鑫、中芯南方等先进制程产线供应链。
国产化率情况:成熟制程射频电源国产化率较高,先进制程射频电源国产化率基本为0。
3. 真空类零部件(真空泵、真空阀)
涨价幅度:
真空泵整体涨价约9%,其中爱德华、普发等海外厂商的先进制程用真空泵国内暂无供应,国产厂商沈阳科仪的产品仅在长存128层、256层产线小批量验证供应,256层以上先进制程无相关产品。
真空阀整体涨价约7%,国内厂商
新莱应材产品可对标海外VAT,且与中微合作时间较长,但品类覆盖少于VAT。
4、机械结构件与硅/石英部件
品类价值占比:金属结构件(反应腔内衬、腔体等)占单台设备价值的约10%。
国内厂商竞争格局:
富创精密可供应中微先进制程腔体,中微扶持的
托伦斯订单规模持续上升。
涨价幅度:大型进口金属结构件涨价幅度约5%-6%。
普通石英件(国内
菲利华、
神工股份等可生产)涨价幅度约3%-5%;高纯石英件国内材料技术不足,依赖进口,涨价幅度约12%-15%。
静电卡盘(陶瓷金属结合件)涨价幅度约9%-11%,国内供应商包括
江丰电子、
珂玛科技。
5、仪器仪表类(MFC、真空计)
MFC分为热式和压差式:热式MFC单价约3000元/颗,主要用于成熟制程;压差式MFC用于28nm及以下先进制程,灵敏度和监控精度更高,单价约9000-12000元/颗。
华创微电子产品份额国内最高,产品主要供给华创;蓝动精密、先导科技主要生产热式MFC,蓝动精密产品已进入长存等晶圆厂小批量供应;高凯技术、青岛芯恩为新玩家。
涨价幅度:真空计(Gauge)国内无供应,依赖进口,涨价幅度约12%;MFC涨价幅度约6%。
6、静电卡盘(E-chuck)
珂玛科技技术领先,先进制程用氮化铝基静电卡盘已实现小批量供应;
中瓷电子的12寸氧化铝基静电卡盘已在
北方华创上机验证,海古德为后进入厂商。
价值量:海外厂商12寸先进制程静电卡盘单价约8万美金(折合人民币约40多万元),国内同类产品单价约20多万元,价格约为海外的7折;8寸静电卡盘单价约10多万元。
配套规则:单台设备的每个腔体对应1个静电卡盘。
7、陶瓷加热盘(Heater)
国内厂商竞争格局:苏州珂玛技术领先,卡贝尼产品主要覆盖6寸、8寸产线。
海外厂商情况:海外刻蚀设备厂商主要采用日本东洋碳素的产品,其材料致密性和烧结技术优势明显。
配套规则:单台设备的每个腔体对应1个陶瓷加热盘。
8、机电类零部件
机械手臂:国内新松
机器人已实现部分突破,国产化率约10%;EFEM晶圆传输系统:国产化率约30%。温控/冷却系统国产化率相对较高,占单台设备价值的10%-15%。
9、零部件需求结构与替换周期
高价值零部件品类:静电卡盘、射频电源、硅环/石英环为三大高价值零部件,其中硅环、石英环为消耗品,年度消耗价值较高。
耗材类(硅环、硅电极、密封圈等):占单台设备价值的10%-12%,国产化率较高。
电器类(射频电源等):占单台设备价值的约15%,成熟制程国产化率约40%,先进制程国产化率基本为0,海外供应商以AE、霍廷格为主。
真空与气体系统类(干泵、分子泵、真空阀、MFC等):占单台设备价值的15%-20%,先进制程国产化率约5%,成熟制程国产化率约10%-20%。
10、海外政策影响与国产替代趋势
MATCH法案核心影响:法案将中芯、长存、长鑫、华虹列入限制名单,限制28nm以下浸没式DUV、低温刻蚀等设备及相关零部件的供应,同时限制海外厂商对已售设备提供维保服务,目标是限制国内晶圆厂产能扩张和稳定生产。
对国内产业的影响:政策压力倒逼着国内晶圆厂加快国产设备和零部件的验证进度,利好国产设备和零部件厂商,但晶圆厂面临国产设备性能与海外有差距的挑战。
国产替代紧迫性排序:真空类(真空泵、真空计、真空蝶阀)→电器类(射频电源)→机电一体类(静电卡盘、机械臂)。