ARF
光刻胶(核心)
• 南大光电
300346 (唯一量产28nm ArF,14nm通过验证)
• 彤程新材
603650 (KrF龙头,ArF批量导入)
• 上海新阳
300236 (ArF浸没式获订单)
• 晶瑞电材
300655 (ArF小批量供货)
氢氟酸(电子级G5)
• 多氟多
002407 (G5级龙头,台积电认证)
• 巨化股份
600160 (全产业链,电子级HF)
• 滨化股份
601678 (G5级,先进制程)
• 中巨芯
688549 (高纯HF+特气协同)
• 永和股份
605020 (电子级HF+PFA)
六氟化钨(WF₆,全球紧缺)
• 中船特气
688146 (全球第一,2230吨/年,6N/7N级)
• 昊华科技
600378 (国内第二,600吨/年)
• 和远气体
002971 (500吨/年试产,6N级)
三氟化氮(NF₃,清洗气)
• 中船特气 688146(全球第一,18500吨/年)
• 南大光电 300346(国内第二,8300吨/年)
• 昊华科技 600378(国内第三,5000吨/年)
• 华特气体
688268 (2000吨/年,7
N认证中)