A 股光刻机核心概念股（按产业链环节分类，2026 最新）[淘股吧]一、光刻机整机 / 设备平台（最核心主线）1、
张江高科 600895 ，A 股唯一直接参股上海微电子（SMEE，国内唯一前道光刻机整机厂），持股 10.78%；90nm 光刻机已量产，28nm 浸没式持续突破，光刻机题材中军龙头。
2、芯碁微装 688630 ，直写式光刻设备龙头，
先进封装、IC 载板光刻，国内市占领先，不做前道晶圆光刻机，但属于光刻设备核心赛道。
3、芯源微 688037 ，光刻机配套涂胶显影设备国产龙头，适配成熟制程光刻机，前道、封测双线放量，光刻机必备配套设备。
4、蓝英装备 300293 ，子公司为
ASML 供应精密清洗、光学辅助部件，深度绑定海外光刻机巨头供应链。
二、核心光学系统（光刻机价值占比最高，卡脖子核心）（一）投影物镜 / 紫外镜片
1、茂莱光学 688502 ：国内唯一量产 DUV 光刻机物镜镜片，供货上海微电子，部分产品进入 ASML 供应链，紫外精密光学壁垒极高。
2、奥普光电 002338 ：长春光机所上市平台，光刻机物镜、光栅、测量光学，配套双工件台纳米级定位组件，02 专项核心承担方。
3、蓝特光学 688127 、
永新光学 603297 ：精密光学棱镜、窗口片，光刻机照明系统配套。
（二）光源晶体 / 照明系统（光刻机 “心脏”）1、福晶科技 002222 ：全球 LBO/BBO 非线性晶体龙头，ASML、国产 DUV/EUV 光源核心晶体供应商，市占超 60%。
2、炬光科技 688167 ：光场匀化器、光束整形，适配 KrF/ArF 光刻机照明模块，进入海外头部供应链。
3、波长光电 301421 ：平行光源、光刻照明光学
元件，配套国产整机厂。
三、双工件台 / 精密运动系统（决定套刻精度）1、华卓精科（未上市）：国内唯一光刻机双工件台厂商，上海微电子独家供应商；A 股配套测量零部件由奥普光电供货。
2、富创精密 688409 ：光刻机真空腔体、精密结构件、静电卡盘基座，设备金属结构件国产龙头。
3、中瓷电子 003031 ：精密氮化铝陶瓷件、静电卡盘陶瓷基材，光刻机真空腔核心陶瓷部件。
四、精密真空 / 流体 / 配套零部件1、新莱应材 300260 ：超高纯不锈钢管路、真空阀，光刻机真空、化学品输送系统必备。
2、江丰电子 300666 ：高纯金属靶材、光刻机散热精密合金部件，设备内部溅射 / 冷却组件核心供应商。
3、同飞股份 300990 ：光刻机精密温控水冷机，超精密恒温系统。
五、光刻胶（光刻机终端核心耗材）1、南大光电 300346 ：ArF 光刻胶国产突破，02 专项标的，已导入国内晶圆厂验证量产。
2、鼎龙股份 300054 ：KrF 厚膜、高端 G/I 线光刻胶，产能持续释放。
3、雅克科技 002409 ：光刻胶配套电子特气、光刻配套材料，覆盖光刻全耗材。
4、彤程新材 603650 ：（子公司容百感光）、
晶瑞电材 300655 ：I 线、KrF 光刻胶量产。
六、光刻配套电子特气1、华特气体 688268 、中船特气 688146 ：光刻曝光所需氟化物、稀有光源特种气体。
七、光刻机题材人气龙头速记（短线资金偏好）
张江高科、茂莱光学、福晶科技、奥普光电、芯碁微装、芯源微、蓝英装备、富创精密、炬光科技、新莱应材。
产业链价值分层总结顶层整机：张江高科（上微股权）
最高壁垒光学：茂莱光学、福晶科技、奥普光电运动工件台：富创精密、中瓷电子
配套设备：芯源微（涂胶显影）、芯碁微装（直写光刻）
耗材：南大光电、鼎龙股份（光刻胶）
风险提示：以上仅为行业产业链梳理，不构成任何投资建议，
半导体板块波动极大，技术研发存在不确定性，内容来源于豆包。
静心重来
登录用户ID：
4
评论(11)
收藏
展开
