半导体干式真空泵国产替代龙头——中科仪

4月29日，中科仪 登陆北交所，公司是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商。实际控制人为中国科学院控股有限公司，国家大基金为第二大股东。
公司是目前国内集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是国内唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，也是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业，成功打破了欧美及日本企业的长期垄断。


💰公司的核心业务分为两大板块，均以真空技术为核心：
-干式真空泵（核心营收来源，占比约64.70%）：主要包括罗茨泵（L/M/H系列）、螺杆泵、涡旋泵。产品广泛支持ASML、北方华创 等30余家主流设备厂商机台。
-真空科学仪器设备（占比约18.46%）：主要面向重大科技基础设施及科研领域，包括薄膜制备设备（PVD、CVD）及高能物理真空装置（如光束线、波荡器）。

🚀行业趋势与市场空间
✅半导体干式真空泵市场：受全球先进制程扩产及国产替代加速驱动。2024年全球半导体干式真空泵需求约12.57万台，市场规模约125.74亿元；中国大陆需求约5.21万台，市场规模约52.11亿元。目前全球市场呈寡头垄断（由英国Edwards、日本Ebara等主导），国产替代正处于局部突破向整体追赶的关键加速期。
✅光伏真空泵市场：在“双碳”驱动下，光伏晶体生长及电池片工序对真空泵有稳定需求。2024年我国光伏产业对干式真空泵需求市场规模约47.0-57.2亿元。
✅科学仪器设备市场：我国2024年全社会研发投入达3.61万亿元，国家重大科技基础设施建设进入快速发展期，为高端真空科学仪器带来了庞大的市场需求，且面临迫切的“自主可控”诉求。

🌟投资亮点与护城河
1️⃣极高的技术壁垒（唯一先进制程国产供应）：拥有三个国家级研发平台，产品满足14nm先进逻辑芯片及128层以上3D NAND工艺，积累了1500多项工艺应用数据库，在先进制程的清洁、中等、苛刻工艺全线打通，技术指标与国际巨头基本持平。
2️⃣优质且粘性极强的客户资源池：半导体设备具有极高的验证门槛和替换成本。公司已成功打入长江存储、科技、中芯国际 、北方华创、隆基绿能 等头部客户供应链，并成功进入台积电、SK海力士等国际一线晶圆大厂的测试验证及小批量供货阶段。
3️⃣大科学装置的“国家队”背书：参与了北京正负电子对撞机、上海光源等11项国家重大科技基础设施建设，在科研级MBE（分子束外延）设备领域保持国内领先，具备极强的底层科研定制与交付能力。