无水氢氟酸和超纯水混合,经过提纯,就变成电子级氢氟酸。 这是
半导体制造中蚀刻和清洗工艺的刚需耗材,没了它,晶圆上的氧化膜和金属污染物就清不掉。 日本半导体工厂一年要用6万吨氢氟酸,缓冲氧化物蚀刻剂还要9到10万吨。 韩国工厂的消耗量更加庞大。 现在,原材料供应链被一把掐住。
韩国厂商扛不住了。
他们本土的无水氢氟酸约90%依赖中国进口。BGF Eco Materials砸了1500亿韩元建厂,年产5万吨,要到今年第四季度才能投产。 远水解不了近渴。 日本的大金工业和星辰化工也在紧急磋商,找中国厂商采购。
中国成了唯一的救火队。
中国的底气在哪里? 全球60%以上的萤石储量在中国,萤石是不可再生的战略矿产。 中国无水氢氟酸总产能约398.8万吨,占全球87%,2025年产量275万吨。
多氟多一家就有27万吨无水氢氟酸产能,全球第一。
巨化股份、
三美股份、
永和股份,每一家都是十几万吨起步。
但普通氢氟酸和电子级氢氟酸是两回事。
电子级氢氟酸需要达到 SEMI G5级,纯度6个9以上,金属杂质控制在10ppb以内。这个认证周期至少要一到两年,能把绝大多数厂家挡在门外。 国内能规模化量产并进入台积电、三星供应链的企业,只有三四家。