1. 量检测/缺陷检测(最薄弱)
• 卡脖子点:电子束检测、光学量测、薄膜厚度/缺陷检测,100%海外垄断(应用材料、KLA、日立)
•
中科飞测 (
688366)
◦ 三维形貌量测、缺陷检测设备(存储先进制程)
◦ 2026Q1:营收2.8亿(+71%),净利0.75亿(+108%)
◦ 市占:国内量测5%,长江存储/认证突破
2. 离子注入(存储掺杂核心)
• 卡脖子点:高能/中束流离子注入,国产化<5%
• 万业企业(
600641)(凯世通)
◦ 低能/中束流离子注入机
◦ 2026Q1:营收4.1亿(+43%),净利0.82亿(+65%)
◦ 市占:国内离子注入3%,12英寸产线验证
3.
先进封装设备(HBM/CoWoS)
• 卡脖子点:混合键合、TCB热压键合、晶圆减薄
• 快克智能(
603203)
◦ TCB热压键合设备(HBM封装)
◦ 2026Q1:营收3.5亿(+38%),净利0.68亿(+52%)
◦ 状态:HBM产线验证中
• 长川科技(
300604)
◦ 测试机、分选机、探针台
◦ 2026Q1:营收4.7亿(+48%),净利1.1亿(+73%)
◦ 市占:国内存储测试8%