光刻机概念股

张江高科 （持有上海微电子9.088%股权）

奥普光学：（禹衡光学半导体领域光栅尺完成小批量验试、公司为中科院长光所旗下唯一上市公司）

上海电气 （母公司为上海微电子大股东）

东方明珠 （子公司上海信息间接持上海微电子股份）

茂莱光学 （DUV光学透镜已经供货上海微电子）

福晶科技 （研发的KB­BF晶体可以直接倍频产生EUV激光非线性光学晶体）、奥普光学（光栅尺、长光所旗下唯一上市公司）

苏大维格 （向上海微电子供货光刻机定位光栅）

海立股份 （为上海微电子相关设备提供冷却配套系统，已供货）

炬光科技 （向上海微电子提供激光退火系统和核心元器件）

麦克奥迪 （北京亦庄），国内光学显示镜龙头，国望光学:国内光刻机物镜供应商，完全继承了中科院股东单位在极大规模IC光刻机爆光光学系统的研发领域的加识产权 ，从基本上解决我国IC制造投影光机曝光光学系统及高端精密 光学装备产业化问题。

科益虹源:国内第一、全球第三的光源企业，是国家02重大专项 “准分子激光技术”成果的产业化载体，拥有准分子激光技术研究、产品开发能力、北京亦庄:麦克奥迪是北京亦庄投资(国营学控股股东，科益虹源二股东)旗下唯一上市公司，有资产注入预期。

美埃科技 （为上海微电子提供EFU及UL­PA产品）

富创精密 （已切入上海微电等设备厂）

华微电子 ：公司官网发明传片系统和光刻机专利授权，涉及光刻机领域。

蓝英装备 ：公司是全球领先的清洗系统和表面处理设备及解决方案提供商，光刻机清洗。

安泰科技 ：公司一种钨合金产品可用于某型号光刻机设备。