昊华科技(
600378 ):始于“两弹一星”的研发平台,国内高纯六氟化硫龙头
公司此前为天一科技,公司特气产品主要位于下属黎明院和光明院体内。黎明院的前身是原化工部直属的科研院所,是为了“两弹一星”任务,以化学推进剂及原材料研制为主业发展起来的综合性研究开发机构。2002年黎明院就开始了高纯六氟化硫的研制工作,2006年投产产能达到3000吨,工业级产品主要用于电子设备绝缘,2006年左右随国家对基础电力行业的大力发展迅速占领市场。高纯SF6产品取代NF3用于CVD清洗工艺可有效降低成本,公司产品2006年就已达到5N级并逐步通过客户认证,当前已经达到5N5级,为国内高纯六氟化硫龙头。三氟化氮方面,公司与韩国大成合资建设产线一期1000吨于2015年3月动工,2016年7月达产,二期1000吨也已经于2018年10月投产。