蓝英装备是国内
光刻机清洗领域的核心供应商,其通过瑞士子公司 UCM AG 深度绑定全球光刻机龙头
ASML 。作为全球唯二通过 ASML 认证的清洗设备供应商,它独家为 ASML 的 EUV 光刻机提供清洗设备,全球市占率达 70%。
EUV 光刻机是制造先进制程芯片的关键设备,其光学系统对清洁度要求极为苛刻,需将颗粒残留控制在 0.1μm 以下。蓝英装备的清洗设备技术能够满足这一极致要求,可清除 0.1 微米以下的颗粒残留,精度超越行业标准十倍。自 2008 年起,UCM AG 就持续为 ASML 及其供应链提供高精度清洗设备,直接服务于 EUV 光刻机的核心光学部件制造环节。
此外,蓝英装备也在为国产光刻机的发展贡献力量。它是上海微电子的清洗设备供应商,其产品已进入 28nm 及以下制程光刻机攻关任务中,将深度参与国产光刻机的研发。