$鲁信创投(600783)艾恩半导体离子注入机实现山东造 助力半导体国产

$鲁信创投(sh600783)$ 艾恩半导体离子注入机实现"山东造" 助力半导体国产化进程

1、鲁信创投 党委副书记、总经理葛效宏表示："作为国有创投机构，我们坚持投早、投小、投硬科技的战略方向。艾恩半导体的技术突破将有效补强山东三代半导体产业链。"据了解，鲁信创投在2023年两次参与艾恩半导体天使轮融资，并协助企业对接更多投资机构，促成其总部落户山东。

2、离子注入机作为芯片制造的关键设备，其重要性仅次于光刻工艺。艾恩半导体总经理钟新介绍："在芯片制造过程中，离子注入是仅次于光刻工艺的重要环节，其注入效果决定了芯片内部结构器件基本且核心的电学性能，是产业链上的重要卡点、堵点。甚至可以说，没有离子注入机，就没有当下的三代半导体产业"目前公司自主研发的新一代碳化硅离子注入机已进入客户验证阶段，预计今年还将推出硅基中束流离子注入机和新一代碳化硅机型。