苏大维格300331，收购，光刻机

苏大维格主营产品包括激光直写光刻机和纳米压印设备 。2023年，苏大维格因在互动易平台回复称公司光刻机已实现向国内龙头芯片企业的销售，并已出口到日本、韩国、以色列等国家，引发股价大幅波动，但随后公司澄清其生产的光刻设备为激光直写光刻机，主要用于微纳光学产品和衍射光学器件的制造，不涉及集成电路领域相关产品的生产，与市场理解的用于芯片制造的投影式光刻机不属于同一技术路线。

2025年9月1日晚间，苏大维格宣布拟以不超过5.1亿元现金收购主营半导体光掩模缺陷检测设备的常州维普半导体不超过51%股权，此举意在增强公司在直写光刻领域的研发实力，也进一步强化了其光刻机概念 。

常州维普半导体设备有限公司
其主营产品为光掩模缺陷检测设备和晶圆缺陷检测设备的研发、生产与销售，两类产品均属半导体量检测核心设备。作为国内极少数实现半导体光掩模缺陷检测设备规模化量产的企业，常州维普核心技术、产品及算法均通过正向自研开发，拥有自主知识产权，且主要核心零部件已实现国产化与自主可控，其产品已成功进入国内头部晶圆厂及国内外头部掩膜版厂商的量产线。