盛剑科技：国产替代光刻胶领军企业

盛剑科技 是中国泛半导体产业绿色科技服务的领军企业，在国产替代光刻胶方面主要有以下布局：

• 技术合作引进：2022年8月与日本长濑化成达成技术合作，引进FPD光刻胶剥离液和蚀刻液技术。2024年3月20日，又与长濑化成在半导体先进封装行业RDL光刻胶剥离液技术方面达成深度合作，共同探索电子化学品材料发展新方向。

• 产能建设：在上海化学工业区建成1.8万吨/年剥离液产线，合肥基地规划3万吨产能，预计2025年投产。合肥基地还同步布局蚀刻液（Cu/Al/Ag）产线，形成“剥离-蚀刻”工艺闭环，为大规模生产光刻胶剥离液等产品提供产能保障。

• 专利储备：申请光刻胶相关专利18项，授权11项，涵盖配方优化、杂质控制等核心技术。如开发出低VOCs排放的水系剥离液，较传统溶剂型产品环保性提升40%，以技术创新提升产品竞争力。

• 市场拓展与客户合作：其光刻胶剥离液产品已通过中芯国际 、华虹半导体 验证，并于2024年实现批量供货，覆盖28nm及以上制程。还与中芯国际 联合开发14nm先进制程用剥离液，支持FinFET工艺良率提升至95%，深度绑定头部客户，助力国产芯片制造。