海程邦达：昇维旭等半导体产业“国产替代”客户

上海光机所“林楠团队成功开发出基于固体激光器技术的激光等离子体极紫外光源。

中国EUV光源新突破。中国科学院上海光机所林楠团队在极紫外光刻(EUV)光源领域取得重大突破，成功开发出基于固体激光器的激光等离子体极紫外(LPP-EUV)光源，能量转换效率达3.42%，超越国际顶尖水平，为中国半导体产业叩开7纳米以下先进制程大门。

国家知识产权局信息显示，深圳市昇维旭技术有限公司取得一项名为“激光束管固定支架”的专利。本申请涉及一种激光束管固定支架，该激光束管固定支架包括：支撑柱，支撑柱的横截面为矩形或正方形；安装于支撑柱上的可调节式固定片，可调节式固定片包括固定组件，固定组件被配置为固定激光束管，固定组件的位置可调节，以实现激光束管远离或靠近支撑柱，和/或实现激光束管在与可调节式固定片在支撑柱上的安装面平行的平面内左右平移调节，和/或实现激光束管旋转调节至竖直方向从而提高了激光束管固定支架的活动性，以便于激光束管的稳妥固定，实现高效激光输出，且一次性安装成功率高，场地适应性强。

深圳昇维旭是在深圳市政府基金的支持下从华为实验室分离出来的。昇维旭发布了约 30 台包括蚀刻、测试和沉积设备在内的工具。昇维旭已取得激光束管固定支架专利，提高激光束管固定支架的活动性。

海程邦达 ：昇维旭合作单位，公司持续为多家泛半导体产业优质存量客户提供专业服务，同时，公司新拓展客户包括昇维旭等半导体产业“国产替代”客户。

报告期内，公司持续为包括京东 方、三星、应用材料 等多家泛半导体产业优质存量客户提供专业服务；同时，公司新拓展包括昇维旭、荣芯半导体等半导体产业“国产替代”客户。公司在报告期内推进新能源、汽车工业、精密电子、化工医药等细分高价值领域的业务拓展，持续巩固与春风动力 、正泰新能源、小米集团等存量客户的业务合作关系，新开发赛默飞等高价值产业客户。

作者利益披露：原创，不作为证券推荐或投资建议，截至发文时，作者不持有相关标的。