电子特气

电子特种气体属于工业气体的重要分支，是电子工业生产中关键的基础和支撑性材料之一，其使用穿透半导体制造的整个过程。

电子特气是在半导体制造流程中所采用的高纯度特种气体，对纯度和杂质含量的严苛要求，占据晶圆制造成本的14%，具有较高的经济价值。
电子特气在光刻、刻蚀等多个环节发挥关键作用。
相较于一般工业气体技术，电子特气壁垒更高，深度提纯的难度也更大。
全球市场格局来看，目前全球电子特气市场被美国空气化工 、德国林德集团、法国液化空气以及日本酸素（原大阳日酸）等四家主要气体供应商高度垄断。
近年来国内电子特气国产化替代进程加快，以华特气体 、金宏气体 、雅克科技 、中船特气 、昊华科技 和南大光电 为代表的企业在不同种类的细分气体领域皆有突破。
六氟丁二烯具有优秀的刻蚀性能和环保特性，是当前国内众多厂商的重点布局方向。当前国产化率仍然相对较低，目前仅有中船特气、中巨芯 等少数几家企业具备生产4N以上电子级产品的能力。
华特气体核心业务包括高纯光刻气、氟、氢类电子特气，公司是国内唯一通过ASML光刻气认证的企业。
昊华科技研制的高纯度含氟电子气体四氟化碳和六氟化硫产品已在国内集成电路企业批量使用，实现了进口替代。
中船特气核心业务包括三氟化氮/六氟化钨等含氟电子特气等，已经具备电子特种气体及含氟新材料等50 余种产品的生产能力，主要产品三氟化氮纯度达到5N，六氟化钨达到6N。
凯美特气 核心业务包括食品级二氧化碳、光刻气等，公司生产半导体、航天等领域急需的超高纯气体和多元混配气；和远气体 核心业务为大宗气体、超纯氨，主营业务包括稀有气体、电子级空分产品等；南大光电氢类电子特气产品由控股子公司全椒南大光电生产，纯度已达到6N 级别；金宏气体提供液态二氧化碳、超纯氨等。
TECHCET预计，2025年全球电子特气市场规模将达到60.2亿美元，2023-2025年年均复合增速约6.4%。