张江高科：真实的SSMB-EUV项目方案！

真正的SS­MB-EUV光源方案 ：加速器周长100~150米，输出EUV功率＞1KW

漂亮国的极限制裁极大的加速了国内EU­V­G­KJ的研发速度，原本这种异想天开的“邪路”只能停留在PPT上和实验室里。现在GJ的饱和式研发却让它迅速落地 。（已在雄安落地）

未来这种加速器的光源将能够同时为数台甚至数十台GKJ提供光源。

PS：上微扩充产线应该要提上日程了，只需把原来提供光源的汞灯去掉，剩下的无脑生产整机就行了。
SSMB-EUV项目三月份就已经在雄安落地，3月14日激光器光源测试成功。所以现在回想当时老张3月份那波上涨其实是因为这个原因，当时主力就已经入场了。