光刻机上游核心材料就是福晶科技的KBBF晶体

全世界只有中国有技术采集到激光固态6倍频的深紫外线相干光。

深紫外线相干光的获得方法有三种，同步辐射光源，准分子激光器，和固态激光倍频晶体

前面两种很多国家都有技术做，但是得到的深紫外线相干光有很多缺点，比如同步辐射不能小型化，做出来的机器很大，无法应用到小型的科研设备比如光电子谱仪，光电显微镜等。193nm光刻机就是个例子。。。很大，而且得到的光束单色性不好，要获得特定狭带宽波长的效率过低。准分子激光器怎是光束的线宽、模式达不到应用仪器的要求，而且操作十分不便。

因此全世界之前都在致力于利用固态激光照射晶体截取倍频相干光来得到固态，稳定并且能小型化的深紫外线相干光。这种晶体就是kbbf晶体，而中国的科学家许祖彦是全世界首个通过棱镜耦合技术采集到全固态激光6倍屏（177,3nm）深紫外线相干光的人。

这个技术是真正的顶级核心技术。是对美“出口管制”的，有了全固态激光6倍屏（177,3nm）深紫外线相干光，就能应用到很多科学仪器上，光谱仪，显微镜，光刻机。。等等。