国内目前主要的
半导体设备零部件公司有:
[淘股吧]万业企业,气体输送系统
新莱应材(腔体、管路、阀)
神工股份(硅电极)
华亚智能(钣金件)
江丰电子(喷淋头)
LIMO(
炬光科技,光场匀化器)
目前国内半导体设备供应商主要从事低技术壁垒的零配件生产
只有万业企业,炬光科技通过并购进入技术壁垒相对较高的市场
钣金件、金属件、腔体等技术壁垒较低的
机械类零部件,国内的华亚智能、新莱应材、江丰电子等企业已经实现了相对较高的国产化率,国产化率在50%以上
上述部分企业向国内的
北方华创、
中微公司、长江存储、
中芯国际等企业供货
静电吸盘、密封圈等相对较难的机械类零部件国产化率仍然较低,甚至不到1%
气/液路类零部件中,万业企业、新莱应材在管路等相对简单的零部件国内企业已具备国产化能力
万业企业、新莱应材也均是Applied Materials、Lam Research的供应链
但国内企业在真空阀等技术壁垒较高的气/液路类零部件中国产化率仍然较低
盛剑环境、中微公司、京仪自动化具备废气处理装置的制造能力
京仪自动化具备温控装置的制造能力,使得机电一体类零部件中废气处理装置、温控装置的国产化率较高
但国内企业在机械手、EFEM等机电一体化类零部件方面技术实力依然欠缺
双工台、浸液系统等零部件主要供应
光刻机使用,目前上海微电子前道光刻机仍在商业化早期
电气类零部件方面,
英杰电气、北方华创有一定的可编程电源、射频电源生产能力
仪器仪表类零部件方面,北方华创、万业企业在MFC方面具有一定的市场占有率
光学类零部件方面,炬光科技是ASML光场匀化器供应商,技术水平处于全球领先水平
不过,由于国产前道光刻机尚未规模商业化,光场匀化器等光学类零部件国产化率没啥好讨论的
半导体设备方面的大方向就是上面提供的路径