荷兰
半导体制造设备公司ASML近日表示,旗下位于德国柏林的一座工厂在1月2
日发生火灾,目前火势已扑灭,无人受伤。
ASML方面表示,目前就损害或该事件是否会对今年的产量计划产生任何影响发表任何声明还为时过早,并补充说评估损害需要几天时间,并将尽快更新信息。ASML并没有提及关闭区域准备要关多久,也没有说明是否有其他供货商能够临时补足相关零件。
ASML发言人于1月4日称,仍然关闭的厂区只限受到火灾损伤的区域,厂区其他部分运作正常。
此次ASML发生火灾的德国工厂是该公司于2020年收购的Berliner Glas公司,但当时并未公布收购金额。该厂区年营收约2.3亿欧元(约2.61亿美元),主要生产用于在硅晶圆上打印图形的光刻系统的零部件,如晶圆台、光罩盘和反射镜模块等。
ASML向下游晶圆代工厂供货,包括
台积电、三星、
英特尔等。目前,ASML仍是世界上少数几家制造芯片
光刻机的企业之一。光刻机在芯片生产中极为关键,其中极紫外光刻机(EUV)目前仅有ASML能够生产,这种设备主要用于生产7纳米及更先进制程的芯片。
如果ASML光刻机出货延迟,可能冲击正试图提高产能的芯片厂客户。ASML是全球唯一的极紫外光先进制程设备供货商,在成熟制程的深紫外光设备市场,则有日本的尼康、
佳能等对手。在半导体光刻机领域,ASML的市占率为84%。