光刻机弯道超车:纳米压印光刻技术!

ASML最先进的浸没式光刻系统：DUV——全球工艺集大成者
TWINSCAN NXT:2000i DUV（双工作台深紫外光刻机）是ASML最先进的浸没式光刻系统 ，是极紫外光刻机EUV前的重要过渡产品，也是后期7nm/5nm产能的重要补充。

光刻机：这是一种集合了数学、光学、流体力学、高分子物理与化学、表面物理与化学、精密仪器、机械、自动化、软件、图像识别领域顶尖技术的产物。最先进的光刻机上有10w个零件。

所以说尖端光刻机的制造没你想得那么简单，这根本就不是一国之力可为的，荷兰不行，美国同样不行！在一台尖端光刻机上你会看到全世界各国顶尖技术的荟萃：德国提供蔡司镜头技术设备，日本提供特殊复合材料，瑞典的工业精密机床技术，美国提供控制软件、电源等等等等，任何一国都不具备光刻机所要求的全部顶尖技术。

世界上每一个国家都不能依靠自己制造出先进的光刻机，现在的高端光刻机是许多个国家共同合作的结果，可惜中国不在这个集体内。从这个角度考虑，光刻机真的比两弹一星难。
到目前为止，各种各样的非传统的光刻技术被研究与开发，包括极紫外光刻、X 射线光刻、电子束光刻、聚焦离子束光刻以及纳米压印光刻。

在这些新型光刻技术中，纳米压印光刻技术是由美籍华裔科学家周郁(Stephen Chou)教授在1995 年提出的[1][2]，和其他的光刻技术不同，纳米压印的基本原理是利用机械力将模板上的图形转移到压印胶上，进而再转移到衬底上，从而达到量产，是一种基于模板的图形转移印技术。
资本大佬对光刻机技术的投资：
1 、华为投资纳米压印光刻公司青岛天仁微纳科技有限责任公司（以下简称“天仁微纳”），持股比例约为5%。
8月2日，华为旗下深圳哈勃科技投资合伙企业（有限合伙）新增一家对外投资企业——青岛天仁微纳科技有限责任公司（以下简称“天仁微纳”），持股比例约为5%。天仁微纳成立于2015年，专注于纳米加工领域，尤其是纳米压印技术。公司的核心竞争力是为客户提供纳米压印整体解决方案。产品与服务涵盖纳米压印相关的设备、模具、材料、工艺以及生产咨询服务。我们致力于拓展纳米压印技术在创新产品领域的应用，例如发光二极管(LEDs)、微纳机电系统(MEMs/NEMs)、虚拟现实和增强现实光波导 (AR Waveguides)、3D传感、生物芯片 、显示以及太阳能 等。

2、小米投资全自动纳米压印公司：深圳利和兴

利和兴该公司为自动化设备生产厂商，获得了湖北小米长江产业基金合伙企业（有限合伙）以及远致富海（深圳国资委控股）的投资。小米总持有公司股票数量为450万股，持有该公司2.88%股份！利和兴全自动压印技术运用快速精密对位结合纳米压印技术可应用于半导体 、OLED、纳米电子、光电子、数据储存芯片、生物科技 等领域。掌握全自动纳闷压印生产线技术，能实现芯片从上料、晶圆对准点胶、压印到下料的全程纳米压印自动化生产，可兼容4”、6‘’、8‘’晶圆。



3、华为投资光刻机公司光源公司科益虹源
华为旗下的哈勃投资公司开始投资光刻机领域，入股了由中科院微电子所控股的科益虹源公司，占股4.76%，成为第七大股东。
北京科益虹源光电技术有限公司在国家大力推动科技成果转化的政策下于2016年7月成立，由中国科学院光电院、中国科学院微电子研究所、北京亦庄国际投资有限公司、中科院国有资产经营有限公司共同投资创立，科益虹源控股股东是中科院微电子所，持股26.6%，主要业务为光刻机中的三大核心技术之一的光源系统，是国内第一、全球第三的193nm ArF准分子激光器企业。

4、华为投资纳米压印光刻龙头天仁微纳
天仁微纳成立于2015年，专注于纳米加工领域，尤其是纳米压印技术。其官方显示，公司是世界领先的微纳加工设备和解决方案提供商，核心竞争力是为客户提供纳米压印整体解决方案。产品与服务涵盖纳米压印相关的设备、模具、材料、工艺以及生产咨询服务。公司致力于拓展纳米压印技术在创新产品领域的应用，例如发光二极管、微纳机电系统、虚拟现实和增强现实光波导、3D传感、生物芯片、显示以及太阳能等。

3、红马资本投资北京博鲁斯潘精密机床有限公司
博鲁斯潘2021年5月完成了国内首台套直径700mm超精密立式柜台数控磨床研发任务。该款机床是在中国科学院长春光学精密机械与物理研究所专家指导下，由博鲁斯潘自主研发，并于2021年5月18日通过国家机床质检验监督中心检验，精度0.1~0.2微米，优化环境干扰，可以稳态到0.1微米，达到国际先进水平。该款机床主要用于超精密光学器件批量化加工，包括光刻机核心的物镜系统，对我国芯片产业上游突破国外封锁具有重要意义，是解决“卡脖子”问题的关键装备之一。

4、华为投资光刻胶企业徐州博康
徐州博康成立于2010年，位于江苏省邳州经济开发区，是国内主要的产业化生产中高端光刻胶单体企业，具有自主且完整的光刻胶产业链，已经实现从单体材料、专用树脂、光酸以及最终光刻胶产品的全品类国产化。与其他半导体光刻胶厂商相比，徐州博康光刻胶单体材料全部自供。徐州博康作为目前国内唯一可规模化生产中高端光刻胶单体材料的企业，2017年起开始承担国家863项目的国际02项目中的《193纳米光刻胶的开发与产业化》，并在2019年正式被国家确定为光刻胶单体的国标制定单位。

5、国家大基金投资光刻胶南大光电
大基金二期拟以1.833亿元认购宁波南大光电的新增注册资本6733.19万元，其中，6733.19万元计入新增注册资本，其余11596.81万元计入资本公积。本次增资后，宁波南大光电的注册资本由3亿元增至3.6733亿元，南大光电对其持股比例由71.67%降至58.53%，大基金二期将持股18.33%。 随着纳米压印技术的发展，目前常用的纳米压印技术有三种：热压印、紫外固化压印和软刻蚀。

下面简单介绍一下热压印和紫外压印技术

热压印技术：热纳米压印工艺首先利用其他先进技术制造有特定图案的精密模具; 然后在衬底上旋涂一层热塑性聚合物，之后放入压印机中加热加压，使得聚合物可以充分填充模板，再降低温度使模具与聚合物分离，得到与模具相反的压印胶图案， 之后再通过刻蚀转移图案至衬底。

紫外固化压印技术： 紫外固化压印技术实际上和热压印技术类似，不过不同于采用热塑性聚合物，紫外纳米压印技术是利用紫外光照射使紫外压印胶固化，进而完成图形转移。因此要保证紫外纳米压印技术中的模板和基底至少有一种是透明的。

纳米压印技术虽然是在在20世纪末才被提出，起步 较晚，但是由于它相对于传统的光刻技术，具有高效性、

高精度、成本低等特点，因此纳米压印技术在众多领域都有广泛的运用，包括集成电电路领域、光学器件、生物检测、太阳能电池、精细微纳米结构图形加工等领域。

到目前为止，纳米压印光刻技术已经有了长足的发展，同时在诸多领域也有了广泛的应用，纳米压印光刻技术和传统光刻技术之间有着很多的不同点，前面虽然已经罗列了纳米压印技术的优势，但是下面我想结合传统光刻技术，进一步分析一下纳米压印技术的优点：

（1）纳米压印技术在三维立体结构加工方面有着它独特的优势，传统的光刻技术都是基于二维平面的加工方式，三维结构获取比较困难，同时可控性较差，但是对于纳米压印技术，只要制作成模板，就可以批量生产三维机构。

（2）纳米压印技术有利于重复结构的加工、成本便于控制，前面已经提到了，纳米压印技术不同于传统光刻技术，不需要光刻机等设备，加工成本低，同时对于重复结构的加工也很简单，只需要利用相同的模板就能够实现。

（3）纳米压印技术便于在曲面柔性衬底上的微纳米结构加工，现有的光刻技术几乎都是基于平面衬底的加工，如果想在非平面衬底上加工一些微结构，通常比较困难，但是纳米压印技术可以很方便的在曲面衬底上进行加工，比如柔性衬底上的加工等等。

近期热门股：义翘神州、中国电信 、华辰装备 、联科科技 、盐湖股份 、贵州茅台 、恒瑞医药 、天齐锂业 、北方稀土 、五矿稀土 华菱线缆 、迈瑞医疗 、

光刻机（胶）概念股
容大感光（300576）38.01
南大光电（300346）37.16
利和兴（301013）
怡达股份（300721）36.64
上海新阳（300236）44.45
爱司凯（300521）20.20
同益股份（300538）20.10
晶瑞股份（300655）27.58
苏大维格 （300331）24.84
广信 材料（300537）17.22
胜利精密（002426）3.22
江化 微（603078）23.03
强力新材（300429）12.51
耐威科技（300456）24.38
高盟新材（300200）10.07
蓝英装备（300293）14.65
飞凯材料（300398）17.00
西陇科学（002584）6.12
扬帆新材（300637）9.59
永太科技（002326）14.91
雅克科技（002409）73.72
联创股份（300343）3.11
京华激光（603607）15.51
英唐智控（300131）7.15
格林 达（603931）33.43
普利 特（002324）12.98
宝通科技（300031）18.29
汉钟精机（002158）26.38
晶方科技（603005）65.12
新莱应材（300260）18.28

大族激光（002008）38.60
澄星股份（600078）2.76
奥普光电（002338）20.81
彤程新材（603650）47.58
久日新材（688199）42.80
安泰科 技（000969）8.32
芯源微（688037）114.38
八亿时空（688181）54.35
世名科技（300522）18.31
万润股份（002643）16.59
万业企业（600641）16.29
金力 泰（300225）18.34