Oxide LCD玻璃基板与TGV玻璃基板虽然核心原材料均为特种玻璃,但它们在应用场景、技术要求和核心指标上存在根本性差异。简而言之,前者是用于制造屏幕面板的“显示基底”,后者是用于AI等高端芯片封装的“
半导体载板” 。
以下是两者的详细区别:
1. 核心应用与定位
Oxide LCD玻璃基板:属于显示玻璃基板。它是LCD(液晶显示器)面板的核心承载基材,主要用于制作TFT(薄膜晶体管)背板。Oxide(氧化物)技术指的是在玻璃基板上采用铟镓锌氧化物(IGZO)等半导体材料来制造晶体管,以实现更高分辨率、更高刷新率和更低功耗的屏幕显示 。
TGV玻璃基板:属于半导体
先进封装玻璃基板。TGV(Through Glass Via,玻璃通孔)技术是在超薄玻璃上制作微米级通孔并实现金属化互连。它主要用于替代传统的硅中介层或有机基板,作为AI算力芯片、HBM(高带宽内存)、CPO光模块等高频高速芯片的先进封装载体 。
2. 核心技术要求与指标
Oxide LCD玻璃基板:
热稳定性与尺寸稳定性:由于Oxide(IGZO)晶体管的制造需要300-400℃甚至更高的工艺温度,玻璃基板必须在高温下保持极低的下垂量、弯曲度或尺寸变化量,以确保像素精准对位 。
表面平整度:要求超高平整度和纳米级粗糙度,以保证薄膜晶体管的良好性能 。
厚度规格:相对较厚,通常在0.3mm至0.7mm之间 。
TGV玻璃基板:
高频电学性能:要求极低的介电常数和损耗因子(介电常数仅为硅的1/3左右),以减少高频信号在传输过程中的损耗和串扰,支持>100GHz的数据速率 。
热机械匹配:热膨胀系数(CTE)需与硅芯片或金属互连材料相匹配,以缓解多芯片封装中的热应力,解决大尺寸芯片封装极易发生的翘曲变形问题 。
厚度与微孔加工:属于超薄玻璃,厚度最薄可达50微米(0.05mm);且需要在玻璃上加工出孔径极小(最小可达3微米)、深宽比极高(可达150:1)的垂直通孔并进行金属化填充 。
3. 下游客户群体
Oxide LCD玻璃基板:下游客户主要是各大面板制造厂,如
京东 方(BOE)、TCL华星光电等 。
TGV玻璃基板:下游客户主要是半导体封测厂及算力芯片制造商,如英特尔、三星、
长电科技 、
通富微电 等
Oxide LCD玻璃基板上市公司:
彩虹股份 TGV玻璃基板上市公司:
蓝思科技 (主要起草单位制定玻璃通孔(TGV)工艺技术规范团体标准)、
京东方 、
长信科技 、
深天马 A、
沃格光电