逐风寻势，共知天下

这个票周一开盘我就走了

补充一些信息，但没量可能也就没戏，当学为主了。

半导体设备零部件需求展望 专家会议要点

1、 半导体零部件供应整体现状与趋势

卡脖子品类与价格趋势：先进制程相关的涂层类、静电卡盘（E-chuck）、射频电源、真空泵、真空阀等零部件当前国产化率较低，存在卡脖子问题；2026年上半年相关零部件已出现价格上涨，若下半年M ATCH 法案落地，预计价格将进一步上涨、交期拉长。

海外零部件厂商产能特点：海外厂商不会因为国内需求的短期波动扩大产能，因此供需紧张时零部件会出现交期拉长、价格递增的情况。

分制程零部件国产化率：先进制程中，海外采购零部件价值占比约80%，国内自研/采购占比不足20%；成熟制程中，国内自研/采购零部件价值占比约40%-50%，海外采购占比约50%-60%。

2、射频电源

涨价幅度：先进制程用射频电源涨价幅度为13%-15%，海外供应商以霍廷格、AE为主。

恒运昌：主攻PECVD用3-6000瓦低功率射频电源，产品成熟，主要配套拓荆，成熟制程领域份额较高，未布局高功率刻蚀用射频电源。

英杰电气：主攻刻蚀设备用射频电源，但12千瓦以上先进制程用高功率射频电源技术仍较落后，未进入长存、长鑫、中芯南方等先进制程产线供应链。

国产化率情况：成熟制程射频电源国产化率较高，先进制程射频电源国产化率基本为0。

3. 真空类零部件（真空泵、真空阀）

涨价幅度：

真空泵整体涨价约9%，其中爱德华、普发等海外厂商的先进制程用真空泵国内暂无供应，国产厂商沈阳科仪的产品仅在长存128层、256层产线小批量验证供应，256层以上先进制程无相关产品。

真空阀整体涨价约7%，国内厂商新莱应材产品可对标海外VAT，且与中微合作时间较长，但品类覆盖少于VAT。

4、机械结构件与硅/石英部件

品类价值占比：金属结构件（反应腔内衬、腔体等）占单台设备价值的约10%。

国内厂商竞争格局：富创精密可供应中微先进制程腔体，中微扶持的托伦斯订单规模持续上升。

涨价幅度：大型进口金属结构件涨价幅度约5%-6%。

普通石英件（国内菲利华、神工股份等可生产）涨价幅度约3%-5%；高纯石英件国内材料技术不足，依赖进口，涨价幅度约12%-15%。

静电卡盘（陶瓷金属结合件）涨价幅度约9%-11%，国内供应商包括江丰电子、珂玛科技。

5、仪器仪表类（MFC、真空计）

MFC分为热式和压差式：热式MFC单价约3000元/颗，主要用于成熟制程；压差式MFC用于28nm及以下先进制程，灵敏度和监控精度更高，单价约9000-12000元/颗。

华创微电子产品份额国内最高，产品主要供给华创；蓝动精密、先导科技主要生产热式MFC，蓝动精密产品已进入长存等晶圆厂小批量供应；高凯技术、青岛芯恩为新玩家。

涨价幅度：真空计（Gauge）国内无供应，依赖进口，涨价幅度约12%；MFC涨价幅度约6%。

6、静电卡盘（E-chuck）

珂玛科技技术领先，先进制程用氮化铝基静电卡盘已实现小批量供应；中瓷电子的12寸氧化铝基静电卡盘已在北方华创上机验证，海古德为后进入厂商。

价值量：海外厂商12寸先进制程静电卡盘单价约8万美金（折合人民币约40多万元），国内同类产品单价约20多万元，价格约为海外的7折；8寸静电卡盘单价约10多万元。

配套规则：单台设备的每个腔体对应1个静电卡盘。

7、陶瓷加热盘（Heater）

国内厂商竞争格局：苏州珂玛技术领先，卡贝尼产品主要覆盖6寸、8寸产线。

海外厂商情况：海外刻蚀设备厂商主要采用日本东洋碳素的产品，其材料致密性和烧结技术优势明显。

配套规则：单台设备的每个腔体对应1个陶瓷加热盘。

8、机电类零部件

机械手臂：国内新松机器人已实现部分突破，国产化率约10%；EFEM晶圆传输系统：国产化率约30%。温控/冷却系统国产化率相对较高，占单台设备价值的10%-15%。

9、零部件需求结构与替换周期

高价值零部件品类：静电卡盘、射频电源、硅环/石英环为三大高价值零部件，其中硅环、石英环为消耗品，年度消耗价值较高。

耗材类（硅环、硅电极、密封圈等）：占单台设备价值的10%-12%，国产化率较高。

电器类（射频电源等）：占单台设备价值的约15%，成熟制程国产化率约40%，先进制程国产化率基本为0，海外供应商以AE、霍廷格为主。

真空与气体系统类（干泵、分子泵、真空阀、MFC等）：占单台设备价值的15%-20%，先进制程国产化率约5%，成熟制程国产化率约10%-20%。

10、海外政策影响与国产替代趋势

MATCH法案核心影响：法案将中芯、长存、长鑫、华虹列入限制名单，限制28nm以下浸没式DUV、低温刻蚀等设备及相关零部件的供应，同时限制海外厂商对已售设备提供维保服务，目标是限制国内晶圆厂产能扩张和稳定生产。

对国内产业的影响：政策压力倒逼着国内晶圆厂加快国产设备和零部件的验证进度，利好国产设备和零部件厂商，但晶圆厂面临国产设备性能与海外有差距的挑战。

国产替代紧迫性排序：真空类（真空泵、真空计、真空蝶阀）→电器类（射频电源）→机电一体类（静电卡盘、机械臂）。

我都理解，这是我自己问题，心怀侥幸，遇上了这个环境，买啥也都是亏，还好是个10厘米，等环境好了我再来🥰，天爷姐姐平时来了多说说话，你来了心里踏实！

老天奶，我还专门给你划了个价格，破了就必须要走啊乖乖，当时埋伏数据港是因为阿里的数据中心，第二天阿里有利空就更不对了。算了，以后我谨慎一些，也尽量说清楚

天爷，今天一刀切了折磨我三天的数据港，面目全非啦自省一下，我弱爆了

爷姐厉害锂电是蓝电吧？

不知阁下有没有听过9出13归的SB大法还有个北交的锂电，一个透景，一个吃皇粮的。不是我不想说，我感觉我这周开的仓都是临盘选的，不确定性太多

量能摆在那，只有个别票有行情。别说科技了，就是有色、化工、锂电、金融等这些，前两天一起涨的今天都不同步了。今明后天外围都有要关注的事情，金融提前托了指数，想稳的心是有的，但目前依然只能看一天做一天。科技稍微有点持续性的就PTFE、半导体设备（零部件）、保偏光纤，而且还猫一天狗一天的，做的话只能低吸绝对不要追涨。

天爷姐姐今天去哪了呀，我来抄个作业

中科飞测横在那很长时间了，它要能选方向继续向上，配合国仪带动情绪，半导体设备才有持续性。