归纳:
一、
光刻胶:
1.
南大光电率先宣布其ArF光刻胶通过
中芯国际14nm制程验证,成为国内首家实现该技术突破的企业;
2.2024年,
彤程新材的KrF光刻胶成功切入长江存储3D NAND产线,实现每月超5000升的稳定供应;
3.
鼎龙股份的CMP抛光液及光刻胶配套产品,也顺利通过台积电南京厂的技术验证。
4.
万润股份联合中科院化学所,历经8年技术攻关,突破高精度分子设计核心技术,将树脂纯度提升至99.999%,成功实现对日本信越化学同类产品的替代;
5.
广信材料则通过与
华虹半导体共建联合实验室,建立快速迭代的产品验证机制,产品性能持续优化,2025年营收同比增幅高达210%。
6.
圣泉集团研发的负性树脂,成功适配
中芯国际28nm逻辑芯片产线;
7.
八亿时空的正性树脂通过合肥长鑫
DRAM 产线验证,产品良率达到92%,与日本JSR同类产品持平。
二、光引发剂
1.
飞凯材料通过分子结构优化设计,研发出低毒性、高活性光引发剂,产品成本较进口同类产品降低40%,2025年市场份额突破20%;
2.九日新材则攻克“长波长吸收”核心技术,其研发的光引发剂已成功应用于
京东方
OLED 面板的光刻工艺环节。
三、溶剂
1.
格林达生产的电子级丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA),纯度达到99.999%,金属离子含量低于1ppb,已顺利通过中芯国际、华虹
半导体的量产验证;
2.
晶瑞电材的电子级环己酮溶剂,成功打破美国陶氏化学的垄断格局,稳定供应长江存储3D NAND产线。
四、
光刻机1.
茂莱光学联合中科院上海光机所,成功突破高精度非球面镜片加工技术,加工精度达到0.1微米(相当于头发丝直径的1/500)光刻机核心组件投影物镜与
福光股份联合研发;
2.福光股份研发的激光测距镜头,已应用于光刻机校准系统,实现对德国蔡司同类产品的替代。光刻机核心组件投影物镜与茂莱光学联合研发
3.
炬光科技研发的准分子激光光源,脉冲能量稳定性达到±1%,已成功应用于上海微电子28nm DUV光刻机;
4.
福晶科技生产的激光晶体,通过美国Cymer公司验证,成为全球EUV光源核心部件的合格供应商。
5.上海微电子已完成28nm DUV光刻机的整机集成,其核心组件投影物镜由茂莱光学、福光股份联合研发,成像分辨率达到38nm;
6.
波长光电研发的光刻机照明系统,实现数值孔径0.35,性能接近
ASML 同类产品水平。7.
凯美特气研发的超高纯氟气,打破美国空气产品公司的垄断,稳定供应光刻机光源所需的特种气体。另外,光刻机的
张江高科,
海立股份、
新莱应材,
蓝英装备、
佳先股份,张江高科、
波长光电、
奥普光电,
英诺激光,
中润光学,
同飞股份为市场认知