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半导体制程的气体逻辑

26-05-04 15:45 291次浏览
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半导体晶圆工艺涉及4种气体:高纯氢气/氮气/氩气/氦气
1. 高纯H₂ 氢气:还原、退火、缺陷钝化、薄膜还原
2. 高纯N₂ 氮气:吹扫、置换、真空保压、腔体隔离、干燥保护
3. 高纯Ar 氩气:等离子刻蚀、溅射沉积、惰性隔绝
4. 高纯He 氦气:精密冷却、检漏、高能等离子、光刻温控
水发燃气 是高纯氦气,宝光是高纯氢气。凯美特气 是生产多种气体产品,主要包括高纯食品级液体二氧化碳、干冰、氩气、氮气、氢气、氧气、戊烷、液化气及可燃气等其它气体。和远气体 是氮气和氩气。
水发燃气5板后在调整,宝光已拉3板。等宝光回调,资金会不会去炒凯美和和远呢?逻辑上讲的通,需要市场资金验证。
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