920186中科仪

半导体真空装备龙头，北交所国产替代核心标的
①公司为中科院系+国家大基金持股的硬科技企
业，主营干式真空泵与真空科学仪器，是国内唯一
实现集成电路14nm先进制程及全工艺场景批量应
用的国产厂商，集成电路领域出货量超3万台，居
国产首位。
②核心客户覆盖中芯国际 、科技、长江存储、
台积电、SK海力士，等国内外头部企业，公司是国
内具备整合SUBFAB全类型设备数据能力的龙头企
业，客户验证周期长、门槛高所形成的客户资源壁
垒显著。