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920186中科仪 ，中科院旗下，集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，国家大科学工程领域真空仪器设备最主要供应商之一

1.截至本招股说明书签署日，国家集成电路基金持有公司33,898,300股股份，占总股本的19.73%
2.2015年开始，公司不断优化干式真空泵的性能、提升产品质量，着力推动产业化落地。2016年至2018年，公司干式真空泵产品取得重大突破，实现在中芯国际 多条产线的批量应用，成为首家批量应用于集成电路制造工艺的国产干式真空泵制造企业。
3.除硅基半导体外，公司干式真空泵产品也可广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备，并已实现批量交付。
4.干式真空泵领域，公司的研发创新打破欧美及日本企业的长期垄断：干式真空泵产品满足14nm先进逻辑芯片以及128层及以上3D NAND等存储器工艺的生产需要，已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用，广泛支持国内主流晶圆制造企业，以及客户A等国内主流集成电路设备制造企业，并已通过台积电、SK海力士、客户I的测试验证实现小批量出货。除硅基半导体外，公司干式真空泵产品也可广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备，并已实现批量交付。