1、、TSV(硅通孔技术):网传TSV硅通孔技术可通过
先进封装等效实现3nm性能,是国产
半导体绕开EUV瓶颈弯道超车的核心抓手。TSV 全称Through Silicon Via,即硅通孔技术,是当前3D/2.5D先进封装的核心底层技术,也是 HBM(高带宽内存)、Chiplet(芯粒)架构实现的关键,被称为 半导体封装的第三次革命 。TSV技术通过垂直互连实现芯片堆叠,可将成熟制程(7nm/14nm)芯粒性能等效提升至3nm级,是国产半导体绕过EUV
光刻机瓶颈、实现弯道超车的关键。
TSV 产业链: (1)TSV 封测(产业链最成熟、需求最直接的环节) ①晶方科技(
603005):国内最早实现 TSV 量产的公司,在影像
传感器 TSV 领域市占率全球第一,正在拓展 HBM 相关封测业务。
②长电科技(
600584):全球第三大封测厂,国内 TSV 技术最全面,具备 HBM2/3 封测能力。
③通富微电(
002156):AMD 核心封测伙伴,在 3D TSV 堆叠领域技术领先。
④深科技(
000021):具备 HBM 封测产能,与国内存储厂商深度合作。
⑤大港股份(
002077)子公司苏州科阳为国内少数具备12英寸CIS芯片TSV封装能力的企业,技术路径直接对标国际先进封装标准.。
⑥华天科技(
002185):布局 TSV 先进封装,在
消费电子 和
汽车电子领域有量产经验。
(
2)TSV 设备(国产替代空间最大的卡脖子环节) ①中微公司(
688012):TSV 深硅刻蚀设备已实现国产替代,进入全球主流供应链。
②北方华创(
002371):提供 TSV 所需的刻蚀、沉积、清洗等全套设备。
③华海清科(
688120):晶圆减薄设备是TSV 工艺的关键,国内市占率领先。
④盛美上海(
688082):TSV 电镀设备和清洗设备已实现量产突破。
3. TSV 材料(上游基础环节,需求随产能扩张同步增长)。 ①强力新材(
300429):TSV
光刻胶及配套材料供应商。
②上海新阳(
300236):TSV 电镀液、清洗液等
电子化学品。
③安集科技(
688019):TSV 抛光液和刻蚀后清洗液。
④鼎龙股份(
300054):TSV 抛光垫、临时键合材料。
⑤兴森科技
002436():TSV 封装基板。
⑥飞凯材料(
300398)、
联瑞新材 (
688550):提供 TSV 所需的绝缘材料、导电胶等。
2、倍量:
金太阳 (
300606)。
3、连阳:飞荣达(
300602)。