中科仪

真空装备领域国内龙头企业。中科仪 成立于2001年，公司是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商，主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务。公司依托中科院技术底蕴，承接多项国家级科研专项，成功实现国产干式真空泵在集成电路领域的规模化应用，破解半导体关键部件“卡脖子”难题。公司服务国家大科学工程，是同步辐射光源、粒子对撞机等重大科技基础设施的核心真空部件供应商，技术水平对标国际头部企业。国科控股为实控人，国家集成电路基金战略持股，股权结构稳定。下设三家全资子公司，聚焦干式真空泵的研发、生产与全周期技术服务，形成完整产业布局。