$中泰股份(sz300435)$1. 核心设备供货(全球巨头):国产唯一
SEMI S2认证的板翅式换热器,作为光刻气(氪/氙/氖/氦)分离精制核心部件,纯度可达99.9999%+,适配EUV光刻;已向
台积电 、三星、
英特尔 等电子气项目供应数十套,支撑光刻气纯化系统。
2. 光刻气生产与供应:唐山精制氪氙项目(国内最大)、与韩国浦项制铁合资项目(PZAS),规模化供应高纯氪/氙,用于EUV光刻光源等高端制程;合资项目投产后可满足韩国半导体市场**50%+**氪氙需求,目标切入三星、SK海力士供应链。