铜箔在半导体制造(尤其先进封装领域)的核心应用主要围绕其作为导电层材料的关键作用,涉及电镀、蚀刻、光刻等工艺。以下是铜箔相关技术及产业链的深度梳理:
一、铜箔在半导体制造中的核心应用
1. 电镀铜工艺(Bumping工艺)
作用:用于晶圆表面形成铜凸块(铜柱),实现芯片与基板的电气互联。
配套材料:需
光刻胶(如负性光刻胶)、蚀刻液、显影液等协同工作。
代表企业:
艾森股份 :供应配套的显影液、蚀刻液、去胶液,用于铜箔图形化处理。
盛美上海 :提供电镀设备,覆盖铜沉积环节。
2. TSV(硅通孔)与TGV(玻璃通孔)技术
TSV:在硅基板钻孔并填充铜箔,实现3D堆叠封装。
TGV:在玻璃基板钻孔镀铜,用于高密度互连(如AI芯片封装)。
材料需求:
铜蚀刻液(如艾森股份产品)用于通孔铜层精细加工。
电镀液确保铜填充均匀性(盛美上海设备支持)。
二、铜箔工艺关键材料供应商
1. 蚀刻液
艾森股份:
铜蚀刻液已供货盛合晶微,2022年销售额232.88万元。
同时布局TGV技术所需蚀刻液,适配玻璃基板封装。
2. 光刻胶
负性光刻胶(Bumping工艺专用):
艾森股份的g/i线负性光刻胶正在盛合晶微认证,用于铜凸块形成。
其他企业:
强力新材 (PSPI材料)、
飞凯材料 (临时键合胶)提供铜层保护及图形化支持。
3. 电镀液及设备
盛美上海:电镀设备用于铜沉积,覆盖晶圆级封装。
安集科技 :CMP研磨液用于铜层抛光,确保表面平整度。
三、前沿技术:TGV封装中的铜箔应用
技术原理:在玻璃基板钻孔后电镀铜箔,替代传统有机基板,提升散热性及信号传输效率。
材料适配性:
艾森股份的蚀刻液、显影液已明确支持TGV技术路线。
市场驱动:
华为昇腾/鲲鹏芯片、AI芯片等高算力场景加速TGV需求。
四、产业链企业布局与产能扩张
1. 艾森股份:
投资5亿元在昆山建设集成电路材料基地,重点扩产光刻胶、蚀刻液等铜箔配套产品。
2024年Q1净利润同比增长112%,反映先进封装材料需求增长。
2. 盛美上海/安集科技:
通过设备与材料协同,覆盖铜箔沉积→抛光全链条。
总结:铜箔技术链的核心逻辑
铜箔在半导体中的价值实现高度依赖 “设备+材料+工艺”三方协同:
设备层:盛美电镀机、
光力科技 切割设备保障铜层加工精度;
材料层:艾森蚀刻液/光刻胶、安集CMP液确保图形化与表面处理;
应用层:华为昇腾芯片(盛合晶微代工)推动Bumping/TGV技术迭代。
注:铜箔直接供应商(如电解铜箔厂商)未在本次搜索结果中提及,当前信息聚焦于半导体封装环节的铜箔加工技术与配套材料。