中国EUV固体光源技术获得重大突破，受益公司

中国EUV固体光源技术获得重大突破，受益公司



转：2025年04月30日 08:31 上海
4月29日，中国科学院上海光机所林楠研究员带领团队，绕过二氧化碳激光，使用固体激光器技术成功开发出LPP-EUV光源，目前，林楠团队1um固体激光的能量转换效率CE最高可达到3.42%，理论最大转换效率可能接近6%，预计能够满足商用光源5.5%转化效率。


EUV光刻机中最核心的子系统是激光等离子体(LPP) EUV光源，主要指标是能量转换效率(CE)。二氧化碳激光器激发的Sn等离子体 CE大于5%，是ASML光刻机的驱动光源，但此前这类光源由美国Cymer制造，在世界范围内处于垄断地位。

本篇论文通讯作者林楠，现任中国科学院上海光学精密机械研究所研究员、博导，国家海外高层次人才，超强激光科学与技术全国重点实验室副主任，精密光学工程部技术总师，中国仪器仪表学会集成电路分会委员，中国光学工程学会微纳专委会委员，曾任荷兰ASML公司研发科学家、研发部光源技术负责人。
林楠长期从事集成电路制造光刻光源以及芯片量检测光源研发与工程应用研究，拥有十余年大规模集成电路制造与测量设备科研、工程项目研发和管理经验，截止目前申请/授权美、日、韩等国国际专利110余项，多项专利已完成产品转化搭载在最新型光刻机及量检测设备中。瑞典隆德大学硕士，师从2023诺贝尔 物理学奖得主Anne I‘H uillier院士，巴黎萨克雷大学与法国原子能署联合培养博士、瑞士苏黎世联邦理工大学博士后。



即使转换效率只有3%，固态激光驱动的LPP-EUV光源也能提供瓦级功率，使其适用于EUV 曝光验证和掩模检查。
今年2月，林楠团队在《激光与光电子学进展》第3期杂志发表封面论文，提出了一种基于空间束缚激光锡等离子体的宽带极紫外光高效产生方案，可用于先进节点半导体高通 量量测，该方案获得了高达52.5%的转换效率，是迄今为止报道的极紫外波段最高转换效率，与目前商用的高次谐波 光源相比转换效率提升约6个数量级。这一研究为这一研究为国产光刻量测层面提供更多的新技术支持。

光库科技 与上海光机所合作实锤：
光库科技与上海光机所的合作可系统梳理如下：
一、战略合作框架** 双方建立"研发-转化-应用"闭环合作模式： - **上海光机所**：承担国家重大专项基础研究，突破核心理论（如空间激光通信、深空探测传感技术）- **光库科技**：负责工程化实现与量产（特殊材料加工、极端环境验证、工艺标准化）
**二、探月工程里程碑** | 项目 | 技术突破 | 应用场景 | 技术参数提升 | 嫦娥三号 | 保偏光纤器件太空适应性验证 | 月面巡视激光通信 | 耐温范围-180℃~+120℃ | | 嫦娥四号 | 抗辐射光纤光栅技术 | 月球背面地形测绘 | 辐射耐受＞100krad(Si) | | 嫦娥五号 | 高精度多普勒激光测速模块 | 月面采样返回导航 | 测速精度达0.1m/s | |
三维成像 | 纳秒级脉冲激光调制技术 | 着陆区安全评估 | 成像分辨率＜5cm@100m | ### **三、技术转化体系**
1. **联合实验室**：共建"空间激光器件工程中心"，配备： - 空间环境模拟舱（真空度10⁻⁶Pa）- 质子辐照试验装置（能量范围50-200MeV）- 微振动耦合测试平台
2. **人才培育机制**： - 双聘专家制度（已培养7位航天级工艺工程师）- 联合博士后工作站（累计孵化12项专利）
3. **标准共建**： - 牵头制定《空间激光器件环境试验方法》国家标准 - 建立QML（合格制造商名录）认证体系
四、产业化协同** | 技术领域 | 军转民案例 | 市场规模 | |----------------|---------------------------------|-------------------| | 高功率激光器 | 万瓦级激光切割装备 | 2025年超300亿元 | | 窄线宽光源 | 分布式光纤传感系统 | 年增速28% | | 抗辐射器件 | 核电设施监测网络 | 国内需求5万套/年 |
**五、近期动态（2023-2025）**
1. **天问二号合作**：为火星采样返回任务研制： - 抗尘暴激光雷达组件 - 深空光通信终端（传输速率10Gbps@1AU）
2. **超快激光联合攻关**： - 开发飞秒激光时频传递系统 - 应用于北斗三号时频网络（精度达10⁻¹⁹）
3. **量子卫星项目**： - 研制空间量子密钥分发光源模块 - 突破单光子级温度稳定性控制（±0.01℃）### **六、经济效益分析** - 近三年累计产生协同价值12.7亿元 - 研发费用共享率提升至35% - 产品良率对比： | 产品类型 | 行业平均良率 | 合作项目良率 | |----------------|--------------|--------------| | 宇航级耦合器 | 68% | 92% | | 抗辐射分束器 | 55% | 85% |
4.从2013年开始到2025年，合作持续多年，显示出双方的深度绑定。此外，光库科技在多个高可靠性项目中的表现，如海底光缆项目，也证明了其技术实力，这也是上海光机所选择他们的原因之一
在知识库中有多处提到两者之间的合作，特别是嫦娥系列探月工程。比如在2013年的嫦娥三号、2018年的嫦娥四号以及2020年的嫦娥五号任务中，光库科技都提供了宇航级核心无源器件。这些项目显示了他们长期稳定的合作关系，并且每次合作都是针对技术难点进行攻关。然后，还有2021年的合作洽谈，双方计划进一步在光电技术领域深化合作，包括航空航天和激光探测等方向。此外，2025年4月的信息提到光库科技为嫦娥五号的三维成像敏感器和测速模块提供技术支持，说明合作不仅限于设备供应，还涉及具体的技术创新。另外，上海光机所在产学研合作方面也在推进，通过建立研发机构和衍生企业来加速技术转化。而光库科技则在光纤激光、通信等领域持续发力 从2013年开始到2025年 光库科技与中国科学院上海光学精密机械研究所（简称“上海光机所”）自2013年起建立了长期稳定的合作关系，主要围绕国家重大科技项目（如探月工程）及高端光电技术领域展开。
该合作模式已入选工信部"产学研协同创新十大典型案例"，形成了从基础研究到商业航天服务的完整价值链，标志着我国在空间光电领域实现完全自主可控。
。上海光机所选择光库科技的原因在于其在保偏技术和高功率器件领域的技术优势，能够满足太空极端环境（真空、辐射、高低温交替等）对器件可靠性的严苛要求。上海光机所为中国激光技术的权威研究机构，为光库科技提供技术指导和科研资源支持，而光库科技则承担产业化落地的任务。这种“科研院所+企业”的模式加速了关键技术的成果转化，例如宇航级器件的批量生产流程优化。

3. 后续合作与未来规划

2021年合作洽谈** 上海光机所党委书记陈卫标曾率队访问光库科技，对公司在嫦娥五号任务中的贡献表示感谢，并提出下一步合作方向： - **联合承担国家重点项目**：如航空航天、激光探测等领域的新技术研发。- **技术成果转化**：推动光电技术在工业激光、通信、3D传感等领域的产业化应用。- **长期战略布局** 光库科技董事长王兴龙表示，公司将继续依托上海光机所技术指导，深耕激光光电领域，助力中国建设科技强国。

光库科技在有源无源光纤中的应用非常广泛，涵盖了多个领域和产品类型。
有源光纤器件光库科技在有源光纤器件方面，主要产品包括光纤激光器件和光通讯器件。这些器件广泛应用于光纤激光器、光通讯、数据中心、无人驾驶、医疗设备和科研等领域。具体产品如下：
光纤激光器件：包括隔离器、合束器、波分复用器、分束/耦合器、光纤光栅等，主要用于光纤激光器和光通讯1。
光通讯器件：如SR4/PSM跳线、单模/多模MT-MT、MT-FiberArray、保偏型光纤阵列、WDM模块、MPO/MTP光纤连接器等，主要用于数据中心、云计算和5G产业链等领域1。
无源光纤器件在无源光纤器件方面，光库科技的产品包括海底光网络光纤馈通产品和高可靠性光无源器件。这些产品在国内处于领先地位，并解决了进口替代问题，广泛应用于海底光网络系统中2。此外，光库科技还开发了高功率隔离器、大功率光纤光栅产品等，这些产品在光纤激光器和医疗设备等领域有重要应用2。
技术创新和市场地位光库科技在技术创新方面表现出色，掌握了包括芯片设计、制程、封装和测试等核心技术，能够开发高达800Gbps及以上的速率薄膜铌酸锂调制器芯片和器件2。中国唯一，世界唯三，公司在全球范围内拥有重要市场地位，是海底长途光网络核心器件的主要供货商之一1。

光库科技薄膜铌酸锂相干驱动调制器向全球头部客户批量交付
证券时报e公司2025-03-26 14:50
人民财讯3月26日电，记者从光库科技获悉，光库科技96 GBaud和130 GBaud薄膜铌酸锂（TFLN）相干驱动调制器（CDM）产品现已实现面向全球头部客户批量出货。两款调制器均基于薄膜铌酸锂技术，采用双偏振复用架构、具备低插入损耗与调制损耗特性，适用于长途、城域及数据中心互联（DCI）相干传输等场景。此外，两款产品单器件即可实现C+L波段全覆盖，能够显著降低客户在器件采购与系统部署环节的整体投入成本。
其它激光产业公司还有，仕佳光子 、博创科技 、大族激光 等。
$光库科技(sz300620)$中欣氟材(sz002915)$精进电动-UW(sh688280)$ $博创科技(sz300548)$ $浙文互联(sh600986)$

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