真空镀膜设备:
汇成真空——TGV镀膜国产龙头,拿下亿元级批量订单
汇成真空是国内真空镀膜设备领域的核心企业,也是最早深度布局TGV玻璃基板
先进封装赛道的本土厂商之一,聚焦
半导体、高端显示领域精密镀膜设备的研发与量产。
根据2026年6月最新机构调研信息,公司自研的磁控溅射、原子层沉积两大核心技术,高度适配TGV玻璃通孔的镀膜工艺需求,可满足玻璃基板通孔侧壁、表面的高精度镀膜需求,大幅提升基板导电性能与封装稳定性。公司主力TGV通孔溅射镀膜设备采用行业先进的负载锁定型溅射技术,融合射频、直流、高功率脉冲磁控溅射等模块化工艺,支持多阴极同步溅射多层镀膜,全程自动化传输、工艺调控与数据追溯,同时适配晶圆级、面板级两类主流玻璃基板加工场景。
商业化层面,公司设备已成功导入日月光、群创、友达、
沃格光电等行业头部客户验证,同步切入台积电国内供应链体系。2026年已落地过亿元TGV设备批量订单,同时配套昇腾、
寒武纪玻璃基CoWoS-L芯片样品试制,深度绑定国内高端算力芯片封装需求,国产替代进度遥遥领先。