国产光刻机 概念股 梳理

国产光刻机 概念股 梳理

整理个学资料而已

一）整机
（1）张江高科 ：持股上海微电子10.779%的股份；
（2）上海电气 ：母公司为上海微电子第一大股东；
（3）东方明珠 ：通过间接持股上海微电子；
（4）奥普光电 ：长春光机所为公司实际控制人，长春光机所生产光刻机。

（二）光源
（1）波长光电 ：光刻机平行光源系统；
（2）茂莱光学 ：精密光学器件已应用于国产光刻机；
（3）福晶科技 ：全球最大LBO、BBO非线性光学晶体生产商。

（三）光学器件
（1）腾景科技 ：多波段合分束器已进入微电子供应链；
（2）苏大维格 ：向上海微电子提供光刻机用的定位光栅产品；
（3）炬光科技 ：提供光刻机曝光系统里面核心元器件光场匀化器；
（4）京华激光 ：控股国外公司在光刻机微结构光学方面实力较强；
（5）晶方科技 ：下属荷兰ANTERYON公司服务国际领先光刻机厂商。

（四）洁净设备
（1）蓝英装备 ：精密清洗设备面向高端芯片制造行业企业客户；
（2）美埃科技 ：提供最高洁净等级标准的设备，国外企业供应商白名单；
（3）国林科技 ：产品用于CVD、ALD、晶圆清洗、污染物及光刻胶去除等工艺中。

（五）温控
（1）海立股份 ：微电子装备集团的系统级合作商
（2）同飞股份 ：液体恒温设备应用于光刻机等领域的温度控制

（六）物镜
赛微电子 ：光刻机厂商的MEMS透镜部件供应商。

（七）控制器
电科数字 ：子公司可供货光刻机控制器。

（八）结构件
金力泰 ：超微弧氧化技术可应用于光刻机设备零部件的表面处理；子公司是上海微电子供应商。

（九）维修服务
东方嘉盛 ：提供光刻机寄售维修服务。

历史上股性好的
东方嘉盛
张江高科
蓝英装备
海立股份
京华激光