国产替代加速：半导体制造设备产业及个股梳理

（1）清洗设备国产化率约20%，国内厂商有盛美股份、北方华创 、至纯科技 、芯源微 。
（2）光刻设备的国产化率低于1%，国内厂商有上海微电子。
（3）显影设备国产化率约8%，国内厂商有芯源微。
（4）刻蚀设备国产化率约7%，国内厂商有中微公司 、北方华创。
（5）过程检测设备国产化率约2%，国内厂商有精测电子 、赛腾股份 。
（6）去胶设备国产化率约90%，国产化率最高，国内厂商有屹唐半导体。
（7）离子注入设备国产化率约3%，国内厂商有万业企业 。
（8）CVD/PVD薄膜沉积设备国产化率约8%，国内厂商有北方华创、拓荆科技 、中微公司。
（9）CMP抛光设备国产化率约10%，国内厂商有华海清科 。