晶圆载具,顾名思义,用于装载晶圆,包括晶圆载具盒、晶圆传送盒和晶圆舟。晶片储存在运输箱中的时间占整个生产过程的很大一部分,晶片盒本身的材料、质量和清洁度可能对晶片质量有或多或少的影响。
晶片载体一般采用耐高温、优异的力学性能、尺寸稳定性、耐久性、抗静电、低放气、低沉淀和可循环利用的材料。PEEK可用于制造用于一般传输过程的载具。一般使用抗静电PEEK。PEEK具有许多优异的性能,如耐磨性、耐化学腐蚀性、尺寸稳定性、抗静电性和低放气性,有助于防止颗粒污染。并提高芯片处理、存储和转移的可靠性。
材料包括:PEEK、PFA、PP、PES、PC、PEI、COP等,一般经过抗静电改性。
1,晶圆载具是用于硅片生产、晶圆制造、以及工厂之间的晶圆储存、运输和防护的重要半导体塑料制品,是AMHS系统(物料自动化搬运)构建12寸晶圆厂自动化搬运方案的必备部件,是重要的半导体零部件。
2,芯片在其制造过程中,一般需要在三周内数百次往返于半导体生产线,晶圆存放在运输盒内的时间在整个生产过程中占比很高,因此晶圆载具在整个生产过程中是必不可少的保护和运输工具。
3,芯片昂贵且极易受到误操作和污染的影响,而晶圆载具本身的材质、质量和洁净与否都可能会对晶圆质量产生或大或小的影响,在芯片制造过程中起到重要作用。
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昌红科技 融合其在精密模具、配套自动化设备的设计和制造、塑料加工三方面的核心技术,打造出“一站式”整体解决方案能力,并将其应用于OA结构件、医用高分子塑料耗材、半导体耗材零部件三大应用领域。2022年,昌红携手鼎龙,强强联合,切入中高端晶圆载具产品市场。
5,目前,公司晶圆载具生产工厂的厂房已建成,且公司半导体晶圆载具业务已有部分产品向客户送样,待客户验证通过后将逐步量产,将有望打开全新增长曲线。
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