上海微电子相关

1)上海微电子相关:

张江高科 :持有上海微电子(国内唯一从事高端光刻
机研产销企业)9.0888%的股权。
上海电气 :母公司为上海微电子第一大股东;
东方明珠 :持股21.33%的子公司上海信息投资间接
持有上海微电子股份;

2)上海微电子供应商
苏大维格 :公司向上海微电子提供了光刻机用的定位光栅产品;
茂莱光学 :DUV光学透镜已经在给上海微电子供货;
海立股份 :为上海微电子的想关设备提供冷却配套系统，已实现供货;
炬光科技 :为上海微电子提供半导体激光退火系统
美埃科技 :公司为上海微电子提供EFU及ULPA等产
富创精密 :已切入上海微电子等国产半导体设备厂;