2023年9月14日互动易回复:子公司国林半导体臭氧设备产品从2022年下半年开始进行市场导入,2023年以来陆续在半导体、面板、科研等行业领域出货验证,该产品用于化学气相沉积(CVD)、原子层薄膜沉积(ALD)、晶圆清洗、污染物及
光刻胶去除等工艺中。
2021年8月27日调研活动信息:在光刻胶清洗过程当中需要用到公司的装置。
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芯片概念好上好 冠石科技 大唐电信 2023年2月21日互动易回复:公司目前已掌握半导体行业用臭收起
2023年2月21日互动易回复:公司目前已掌握半导体行业用臭氧清洗设备制造及设计工艺多项关键技术。公司半导体清洗专用臭氧设备首台套已于2022年下半年交付给客户,目前正处于产品验证阶段。