10.27国产光刻机利好（上海微电子概念梳理）

   27日网传上海微电子装备股份有限公司发布光刻机专利，代表着离突破更近一步。上海微电子装备(集团)股份有限公司发明公布《光刻投影物镜及光刻机》申请公布号:CN116954028A。


相关概念
   张江高科 ：公司旗下微装公司是国内唯一一家研发、生产以及销售高端光刻机的企业，子公司上海张江浩成创业投资有限公司持有上海微电子14.21%股权。
   晶瑞电材 ：前年公司已购得KrF光刻机一台（二手），可用于KrF光刻胶的曝光测试，同时公司KrF光刻胶量产化生产线正在积极建设中。
   麦克迪奥：麦克奥迪 主业光学镜头实锤供货光刻机。
   福晶科技 ：公司生产的产品是光刻机的重要的上游原材料。
   上海电气 ：上海电气 控股集团是上海微电子的第一大股东。
   炬光科技 ：间接供货光刻机阿斯麦 ，是荷兰阿斯麦核心供应商的重要供应商。
   苏大维格 ：公司向上海微电子提供了光刻机用的定位光栅产品，该器件是光刻机产品的重要部件。
   奥普光电 ：非常有希望在国产高端光刻机上实现突破。其研制的EUV光刻原理装置，实现了EUV光刻的原理性贯通。
   茂莱光学 ：DUV光学透镜已经在给上海微电子供货。
   金力泰 ：超微弧氧化技术可应用于光刻机设备零部件的表面处理，子公司是上海微电子供应商。
   蓝英装备 ：子公司UCMAG为阿斯麦提供精密清洗解决方案。
   美埃科技 ：提供最高洁净等级标准的设备，国外企业供应商白名单。
   波长光电 ：提供光刻机平行光源系统。
   赛微电子 ：公司与AS-ML合作，在瑞典和北京分别拥有数台光刻机，此外公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统ME-MS部件的工艺开发与晶圆制造服务。