10.27上海微电子装备股份有限公司发布
光刻机专利，代表着离突破更近一步。上海微电子装备(集团)股份有限公司发明公布《光刻投影物镜及光刻机》申请公布号:CN116954028A。
上海微电子装备(集团)股份有限公司主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。公司设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。
上海微电子经过多年的努力，成为中国自主研发光刻机的领军企业，在核心技术研发、与国际企业合作与交流以及与政府的合作等方面，上海微电子都取得了显著成果，这是令人瞩目的突破。
光刻机作为半导体产业链里面的核心设备，对芯片制造质量和性能具有决定性的影响。国际光刻机制造巨头
ASML一直垄断着全球光刻机市场。上海微电子作为中国光刻机的代表企业，非常有希望彻底突破了ASML的垄断，以及欧美西方国家对中国光刻机的封锁。
上海微电子光刻机相关概念：
张江高科 ：公司旗下微装公司是国内唯一一家研发、生产以及销售高端光刻机的企业，子公司上海张江浩成创业投资有限公司持有上海微电子14.21%股权。
东方明珠 ：通过上海泰力产业投资管理有限公司间接持有约2%股权。
晶瑞电材 ：前年公司已购得KrF光刻机一台（二手），可用于KrF
光刻胶的曝光测试，同时公司KrF光刻胶量产化生产线正在积极建设中。
麦克迪奥：
麦克奥迪 主业光学镜头实锤供货光刻机。
海立股份 ：海立集团与上海微电子装备集团是战略合作伙伴。海立集团与上海微电子都是
上海电气 集团的子公司。
福晶科技 ：公司生产的产品是光刻机的重要的上游原材料。
上海电气 ：
上海电气 控股集团是上海微电子的第一大股东。
炬光科技 ：间接供货光刻机阿斯麦，是荷兰阿斯麦核心供应商的重要供应商。
苏大维格 ：公司向上海微电子提供了光刻机用的定位光栅产品，该器件是光刻机产品的重要部件。
奥普光电 ：非常有希望在国产高端光刻机上实现突破。其研制的EUV光刻原理装置，实现了EUV光刻的原理性贯通。
茂莱光学 ：DUV光学透镜已经在给上海微电子供货。
金力泰 ：超微弧氧化技术可应用于光刻机设备零部件的表面处理，子公司是上海微电子供应商。
蓝英装备 ：子公司UCMAG为阿斯麦提供精密清洗解决方案。
美埃科技 ：提供最高洁净等级标准的设备，国外企业供应商白名单。
波长光电 ：提供光刻机平行光源系统。
赛微电子 ：公司与AS-ML合作，在瑞典和北京分别拥有数台光刻机，此外公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统ME-MS部件的工艺开发与晶圆制造服务。
腾景科技 ：已进入微电子供应链。
英唐智控 ：公司2020年10月完成对先锋微技术的收购，更名为英唐微技术（股权比例为55%）。先锋微技术自有的生产设备中包含有日本产的光刻机设备，互动平台称：5台光刻机目前还在控股子公司日本英唐微技术的生产线中，最小能支持0.35um工艺。
京华激光 ：在光刻机微结构光学方面实力较强。
富创精密 ：国产半导体设备零部件龙头，全球为数不多的能够为7纳米工艺制程半导体设备批量提供精密零部件的厂商，公司已进入全球光刻机龙头AS-ML供应链体系，已切入上海微电子等国产半导体设备厂。
新莱应材 ：半导体零部件营收规模A股第二
演齐系股
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