海立股份：为上海微电子提供光刻机冷却系统且与上海微电子同一母公司

海立股份 ：为上海微电子提供光刻机冷却系统且与上海微电子同一母公司

海立股份为上海微电子提供封装光刻机冷却系统

10月26日下午，海立集团与上海微电子装备集团举行战略合作协议签约仪式，微电子装备集团董事长干频指出，希望双方以封装光刻机的冷却系统配套为起点，进一步提升合作能级，逐步从零部件级供应合作提升为系统级供应合作；进一步做强专业力量，孵化出特、精、专的优秀团队；

海立股份和上海微电子开展共建联合实验室

微电子装备集团董事长干频指出，进一步拓展合作范围，从点到面，开展共建联合实验室等全系统、全方向、多领域的合作，互相协作，共同成长。

海立股份与上海微电子同一个母公司

上海电气 集团为海立股份控股总公司，是最大股东（控股28.67%）。上海电气 集团为上海微电子上海电气 集团，也是最大股东（控股27.06%）。