光刻机

关刻机

上周五盘面最靓的仔是光刻机，光刻机内部的核心是雄安新区开工建设的中科院、清华大学强强联合的国产光刻机突破项目---中科院和清华大学最为创新、最为激进的SSMB-EUV光刻工厂路线，即用自由电子激光和同步辐射源两种混合光源形成SSMB-EUV光刻机光源绕开
ASML封锁。

引爆这个题材的核心是东方钽业
，昨天高开被砸大阴线，今天直接大高开秒板反包涨停，东方钽业涨停以以后，给了联合精密助攻6板的先锋挡刀，其实这个时候资金对于光刻机还是犹豫的，为什么呢？

因为联合精密9:32涨停以后几次板上分歧，一直到9:58最后一次才回封焊死，10:49晶方科技
涨停，是先进封装属性，这里的拐点是11:29的中广核技
，中广核技的涨停直接引爆了第四代高能同步辐射光源（HEPS）加速提题材。中午小作文和挖票纷纷行动起来，下午开盘给高能同步辐射光源（HEPS）做仪器检测的必创科技 秒板，给高能同步辐射光源（HEPS）做专用线缆的宝胜股份
秒板，给高能同步辐射光源（HEPS）提供高次模抑制器（筛选不同能量的粒子，进行光源粒子的定向迁移，实现3nm---7nm）的国光电器 秒板涨停，于是市场开始大面积挖掘高能同步辐射光源（HEPS），甚至连做特气耗材的凯美特气 都秒板直线拉涨停，京华激光 的反包涨停和张江高科 的反包涨停说明光刻机的情绪已经蔓延，不拘泥于日内引爆的核心高能同步辐射光源（HEPS），开始蔓延到所有股性活跃的光刻机产业链，连“其实不是光刻机是光雕机”

的苏大维格 都继续大阳线而不是闷杀阴线，可以看到市场对于光刻机的认可度。

下周预料：光刻机会超越华为手机产业链，成为新的科技风向标，毕竟华为手机已经都炒作过了，没有新看点了，但是光刻机不一样，高科技里各种元器件拿出来都是“突破预期差”，比如周五的高能同步辐射光源。

关刻机突破路线图

第一、上海微电子，走ASML路线，全程规避美规。

采用1X千瓦/60Khz的超高重复频率二氧化碳激光打靶。

上海电气 ：母公司为上海电气 控股集团有限公司，其持有上海微电子装备(集团)股份有限公司34.91%的股权，为上海微电子第一大股东

张江高科：持股上海微电子10.779%的股份；

东方明珠 ：间接持有上海微电子约2%股权；

茂莱光学 ：DUV光学透镜已供货上海微电子；

富创精密 ：国产半导体设备零部件龙头，已进入ASML供应链体系，切入上海微电子等国产半导体设备厂；

苏大维格：向上海微电子提供光刻机用的定位光栅产品.

第二、中科院、清华大学强强联合的国产光刻机突破项目---中科院和清华大学最为创新、最为激进的SSMB-EUV光刻工厂路线，即用自由电子激光和同步辐射源两种混合光源形成SSMB-EUV光刻机光源绕开ASML封锁。

这条技术路线如果成功，光源外置、极大简化的光路直接把
EUV光刻机变成体积大，但是成本相对较低的批量产品，且更匹配中国极高的基础设施建设能力。

1⃣️自由电子激光

光源、物镜、工件台作为光刻机三大部件，光源最难。

为了突破最难的光源问题--自由电子激光

华为入股长光华芯（第七大股东）；中科院长春光学精密机械与物理研究所入股长光华芯（第三大股东）；

为了避免关注，中科院长春光学精密机械与物理研究所，在长光华芯2012成立的第二年2013年专门成了一家100%控股小公司长春长光精密仪器集团有限公司入占股长光华芯第三大股东。

和第七大股东华为秘密合作，吉林省公布的2023年度科学技术奖一等奖二等奖无意中曝光了，也是某雪、某东炒股网站一直不让发这个的原因。

另外，长光华芯、华为、福晶科技 又同时入股武汉华日精密激光股份有限公司（第一、第五、第九大股东）

武汉华日精密激光股份有限公司，长光华芯为第一大股东，华为旗下的哈勃投资为第五大股东。

第9大股东福建华晶背后正是给光刻机光源部分提供晶体的福晶科技 。

哈勃本身已经参股了长光华芯，为何要重复两家子母公司呢？

华为、中科院长春光学精密机械与物理研究所、长光华芯 、武汉华日精密激光股份有限公司四家联手，就是为了解决这个最难的光刻机光源问题-自由电子激光！
ASML EUV光刻机的光源核心部分激光器来自立陶宛，正是飞秒激光。

飞秒激光器需要非常大功率的激光芯片，这正是长光华芯的主营业务。

今年3月，由美国科罗拉多大学实验天体物理联合研究所（JILA）领导的研究小组通过发射飞秒激光并使之穿过充满气体的波导，成功地生成了非常紧凑、功率强大的极紫外辐射（EUV）光束。

据悉，结合电磁辐射研究和光纤光学的概念，研究人员创造了一种极紫外、类激光光束，能够在以往科学家无法接触到的电磁波谱区域产生紧密聚焦的光。

极紫外（EUV）波长比可见光波短10－100倍，它将使研究人员能够“看到”微小的特征并雕刻出微型图案，在显微镜、光刻和纳米技术等领域得以广泛应用。
EUV光刻机的诞生是由各个部件在技术上的集体突破才最终成型的，但其中最为关键的还是EUV光刻机的光源——除了波长问题之外，激光达到焦点处的功率也成为瓶颈。

2⃣️粒子加速器、高能同步辐射光源

东方钽业：成熟产品有钽十钨球形粉末，主要应用在航天等部件增材制造领域，形成小批量生产。成熟产品有铌超导腔及其制品，主要应用于粒子加速器等大科学装置。铌金属具有超导性能优异的特点，是粒子加速器中铌超导腔的核心材料，主要应用于高能同步辐射光源（HEPS）、强流重离子加速器装置（HIAF）等国家大科学装置，是国家重点支持产业。

云路股份：公司与中国科学院近代物理研究所合作研发基于纳米晶材料制成的高性能大尺寸液冷磁合金环，可以用于生产强流重离子加速器的高颂系统，打破了国外企业在该领域的垄断和封锁，解决了加速器领域长期以来的“卡脖子”问题。

中广核技：旗下子公司中科海维研（目前更名为广核辐照技术）发成功上海光源（SSRC）加速管，成为国内首家实现该型高科技产品产业化的企业，并出口用于巴西国家重大科研项目——“巴西光源”必创科技 : 公司为同步辐射研究用科学仪器等方面提供新型高性能科学仪器及装置。

首钢股份 ：首钢北冶公司近日成功中标中国科学院高能物理研究所高能同步辐射光源真空内波荡器磁性材料量产（第二包）磁极加工项目，这是北冶公司继2020年10月份后又一次中标此类项目。

国光电气 ：中标中国科学院高能物理研究所高能同步辐射光源（HEPS）高次模抑制器

宝胜股份：中标中国科学院高能物理研究所HEPS电线电缆

英杰电气 ：中标高能同步辐射光源（HEPS）调功柜

长飞光纤 ： 北京博邦弘光科技有限公司中标中国科学院高能物理研究所采用长飞光纤光缆 产品
第三、广智院与华中科技大学，采用分时高功率光纤激光器射击液态锡靶的方式绕开超高功率、超高重复频率二氧化碳激光器这个路线，目前样机的效果是传统二氧化碳激光器的LPP光源的数倍。

周五的核心是粒子加速器、高能同步辐射光源采用东方钽业，光刻机最大难度、最核心的光源--自由电子激光长光华芯被严重忽视。想过没，长“光”“华”芯字的含义？

下周一东方钽业如果强势一字，液冷磁合金打破了国外企业在该领域的垄断和封锁，解决了加速器领域长期以来的“卡脖子”问题的云路股份有大号20%套利机会。

S长光华芯(sh688048)S S云路股份(sh688190)S S凯格精机(sz301338)S S联合精密(sz001268)S S东方 钽业(sz000962)