国产光刻机三条路线

目，这是北冶公司继2020年10月份后又一次中标此类项目。

高次模抑制器：

国光电气 ：中标中国科学院高能物理研究所高能同步辐射光源（HEPS）高次模抑制器

HEPS特种电缆：

宝胜股份 ：中标中国科学院高能物理研究所HEPS电线电缆

英杰电气 ：中标高能同步辐射光源（HEPS）调功柜

长飞光纤 ： 北京博邦弘光科技有限公司中标中国科学院高能物理研究所采用长飞光纤光缆 产品
$长光华芯(sh688048)$

第三：、广智院与华中科技大学，采用分时高功率光纤激光器射击液态锡靶的方式绕开超高功率、超高重复频率二氧化碳激光器这个路线，目前样机的效果是传统二氧化碳激光器的LPP光源的数倍。