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重磅!四家联手颠覆式创新--光刻流水线

23-09-15 06:28 1472次浏览
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四家联手颠覆式创新--光刻流水线

就是把不同波段的光看做一堆大小不等的球,光刻机中需要一个过滤装置去得到特定大小的球,
ASML牛逼的地方在于能在几米的光路中就把需要的7nm球给找出来,不需要的就过滤掉了中国搞的这个思路,就是几米路线我过滤不出来,就把这个路线给搞成几千米环形跑道,大小不同的球,在这个跑道内越跑差距越大,而相同大小的球,则会聚集在特定的区间内。最终的结果就是我们一个环形跑道内,会产生1纳米到100纳米的不同区间。需要几纳米,就去对于的位置取就行了。



这个光刻机,5nm可能是良品,良品率只有百分之30,但是同时生产时候其他的14nm,24nm国内也有人要,相当于国外可能一箱出来百分之80全是5nm,但是剩下20就是损耗,但是不一样5nm是良品,但是其他的14,24其他企业也能用,比如电视机遥控器,这就是世界工厂底气,有整套工业链,而且薄利多销。

以前说搞不定euv的光源,大概率是光源小型化是一个重大门槛,现在门槛不要了,直接把大型环形激光加速器搬进去,产生足够功率甚至更强的光源。这就是打印机和印刷厂的区别。

绕过了几个障碍,第一个是光源这个功率直接是现在光刻机几百倍,第二个是镜头,不用雕刻很精细,可以把镜头做成几十米直径,然后小的加工不精细的,就可以忽略了,因为缩放的比例大了十倍以上,以前的光罩雕刻7NM需要镜头1微米的精度,现在用十微米精度都可以,第三个是光刻胶,因为日本的光刻胶最大的优势就是非常敏感的,微小的极紫外光都可以曝光,现在我们直接不用了,就用加工很糙的光刻胶,加大光源功率,一样可以完成光刻胶的。



工业发展都是集成化、小型化,做不成集成化和小型化,那就往大了做,工序拆解细分。好比做不了精密的加工中心,那就拆分去搞车床,铣床,刨床,磨床,再配合自动化流水线作业一样能达标,还可以规避加工中心设备的专利壁垒,就是需要的一个超级特大号的车间。直接把光刻机给拆了,平铺开,一个零件一个零件的磨精度,无非就是占地面积大点,直接搞成生产流水线。

四家联手颠覆式创新--光刻流水线,公布吉林省2023年度科学技术一等奖、二等奖,无意中曝了光。
(某雪、某东一直不让发下面截图,怕曝密?)



长光华芯(688048)第三大股东就是中科院长春光学精密机械与物理研究所,华为是第七大股东!
(中科院长春光学精密机械与物理研究所100%控股长春长光精密仪器集团有限公司)




华为光刻机--长光“华”芯。除了和华为、中科院长春光学精密机械与物理研究所共同搞光刻流水线,更是华为EUV光刻机激光光源供应商。

武汉华日精密激光股份有限公司,长光华芯为第一大股东,华为旗下的哈勃投资为第五大股东。



第9大股东福建华晶背后正是给光刻机光源部分提供晶体的福晶科技

哈勃本身已经参股了长光华芯,为何要重复两家子母公司呢?
ASML EUV光刻机的光源核心部分激光器来自立陶宛,正是飞秒激光。

飞秒激光器需要非常大功率的激光芯片,这正是长光华芯的主营业务。

今年3月,由美国科罗拉多大学实验天体物理联合研究所(JILA)领导的研究小组通过发射飞秒激光并使之穿过充满气体的波导,成功地生成了非常紧凑、功率强大的极紫外辐射(
EUV)光束。

据悉,结合电磁辐射研究和光纤光学的概念,研究人员创造了一种极紫外、类激光光束,能够在以往科学家无法接触到的电磁波谱区域产生紧密聚焦的光。

极紫外(EUV)波长比可见光波短10-100倍,它将使研究人员能够“看到”微小的特征并雕刻出微型图案,在显微镜、光刻和纳米技术等领域得以广泛应用。
EUV光刻机的诞生是由各个部件在技术上的集体突破才最终成型的,但其中最为关键的还是EUV光刻机的光源——除了波长问题之外,激光达到焦点处的功率也成为瓶颈。

光源、物镜、工件台作为光刻机三大部件,光源最难。哈勃入股华日激光和快速的研发进度意味着国产EUV可能已经获得突破,华为、中科院长春光学精密机械与物理研究所、长光华芯 、武汉华日精密激光股份有限公司四家联手光刻流水线将石破惊天!

(等消息吧,一切以官方消息为准)

$长光华芯(sh688048)$
$杰美特(sz300868)$
$华亚智能(sz003043)$
$联合精密(sz001268)$
$苏大维格(sz300331)$

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