光刻机低位次新股 —固高科技

$固高科技(301510)$ 公司于23年上半年有获批一项关于半导体设备运动轨迹规划的专利《光刻机运动轨迹规划方法、装置、计算机设备和存储介质》。

同花顺 金融研究中心9月12日讯，有投资者向固高科技提问， 董秘你好，公司2023年上半年已经取得一种光刻机运动轨迹规划方法的专利，是否未来可以用于光刻机上？谢谢

公司回答表示，公司长期专注于运动控制及智能制造的核心技术研发，面向以半导体精密加工装备、工业机器人 、数控机床为代表的高端设备领域形成了运动控制、伺服驱动、多维感知、工业现场网络、工业软件等自主可控的技术、产品体系。具体在半导体设备领域，公司的部件、系统类产品在芯片后道封装设备中已有一定应用部署量；在以光刻、蚀刻、清洗为代表的半导体前道设备内所需的控制、伺服等技术、产品，公司也一直在持续研发迭代技术与产品，并积极拓展相关应用场景。整体来看，公司认为未来五到十年是半导体前道设备国产化机遇期，也是其中伺服控制部件、系统等产品的重要机遇期，企业将持续迭代、完善技术与产品，完成产业化能力建设，服务行业。短期内，公司相关部件、系统在半导体前道设备中相关业务对企业整体营收影响有限，请投资者谨慎关注。 $固高科技(sz301510)$