光刻机清洗

清洗设备：
蓝英装备 ：公司的精密清洗业务的芯片行业企业客户包括光刻机制造企业的合资（参股）公司。瑞士子公司 UC­M­AG 为 AS­ML 及其供应商提供极紫外光刻机（EUV）的光学系统相关关键部件的清洗设备；在某特定工艺上公司是其全球唯一供应商。

富乐 德：公司是国内泛半导体设备精密洗净领先服务商，已研发并量产半导体14nm 制程洗净工艺、储备的半导体 7nm 部品清洗工艺已较为成熟。

至纯科技 ：互动表示公司湿法清洗设备在 28nm 全部工艺工序段已通过验证并有