光刻机相关概念股:
张江高科 (持有上海微电子9.088%股权)
奥普光学:(禹衡光学半导体领域光栅尺完成小批量验试、公司为中科院长光所旗下唯一上市公司)
电科数字 :子公司柏飞电子提供光刻机控制器,向上海微电子提供了多种国产化计算和控制模块和系统。
上海电气 (母公司为上海微电子大股东)
东方明珠 (子公司上海信息间接持有上海微电子股份)
茂莱光学 (DUV光学透镜已经供货上海微电子)
福晶科技 (研发的KBBF晶体可以直接倍频产生EUV激光非线性光学晶体)
赛微电子 :主要提供MEMS反射转镜,子公司Silex为全球光刻龙头公司提供微镜系统,是该公司微镜的主供
苏大维格 (向上海微电子供货光刻机定位光栅)
福光股份 :国内航天级光学镜头的重要供应商,募投项目布局超精密光学加工,有望为光刻机等领域提供高精密光学镜头及光学系统
海立股份 (为上海微电子相关设备提供冷却配套系统,已供货)
炬光科技 (向上海微电子提供激光退火系统和核心元器件)
麦克奥迪 (北京亦庄),国内光学显示镜龙头,国望光学:国内光刻机物镜供应商,完全继承了中科院股东单位在极大规模IC光刻机爆光光学系统的研发领域的加识产权 ,从基本上解决我国IC制造投影光机曝光光学系统及
高端精密 光学装备产业化问题,科益虹源:国内第一、全球第三的光源企业,是国家02重大专项 “准分子激光技术”成果的产业化载体,拥有准分子激光技术研究、产品开发能力、麦克奥迪是北京亦庄投资(国望光学控股股东,科益虹源二股东)旗下唯一上市公司,有资产注入预期。
美埃科技 :为SMEE开发28nm光刻机提供EFU(超薄型设备端自带风机过滤机组及ULPA(超高效过滤器),为上海微电子提供EFU及ULPA产品,也是SMIC、STM、Intel等的供应商。
腾景科技 :应用于光刻机光学系统的合分束器处于样品验证阶段
富创精密 (已切入上海微电子等设备厂)
华微电子 :公司官网发明传片系统和光刻机专利授权,涉及光刻机领域。
波长光电 :在半导体应用领域,公司已具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的能力,公司成功开发的光刻机平行光源系统可用于国产光刻机领域配套。
蓝英装备 :公司是全球领先的清洗系统和表面处理设备及解决方案提供商,光刻机清洗。
凯美特气 :通过了
阿斯麦 光刻气产品认证事件(控股子公司岳阳凯美特气收到ASML子公司Cymer 发来的合格供应商认证函,生产的光刻气产品通过了审查),将公育的光刻气产品列入合格供应商名单。
晶方科技 :公司全资子公司Optiz Inc.对Anteryon 公司进行了增资,公司通过晶方光电、Optiz Inc.合计持有Anteryon 公司81.09%股权,持续提升Anteryon 公司在光学设计与混合光学镜头领域的核心优势,供货ASML。
华卓精科:双工件台公司
安泰科技 :公司一种钨合金产品可用于某型号光刻机设备。
光刻胶:
彤程新材 (北京科华):彤程新材KrF高端光刻胶量产,上海新工厂部分产线已试生产,ArF干法待验证,ArF湿法研发,EUV胶初级研发。
晶瑞电材 :眉山光刻胶产线已通车,KrF光刻胶量产,ArF研发。
华懋科技 (徐州博康):30多款ArF光刻胶已通过客户验证,20多款量产,产品覆盖了55nm,40nm,28nm,22年已有15款形成销售。ArF有26款产品可用于14-90nm制程节点,9款正在客户端进行验试,导入量产。
南大光电 :ArF光刻胶两款产(
存储芯片50nm和逻辑芯片55nm)获部分客户认证。
上海新阳 :KrF光刻胶已获客户认证,开始供货国内主流晶圆厂家,ArF研发顺利,已进入客户端测试。EUV前期研发。
容大感光 :公司的g/i线光刻胶产品量产,KrF形成销售。