光刻机三剑客：张江高科、冠石科技、联合精密

光刻机，集成电路制造中最关键设备,对芯片制作工艺有着决定性影响，超精密制造技术皇冠上的明珠，也是目前我国被卡脖子最严重的高科技设备。

上海微电正致力于研发28纳米浸没式光刻机，预计在2023年底将国产第一台SSA/800-10W光刻机设备交付市场。上海微电是国内唯一一家研发、生产以及销售高端光刻机的企业，也是全球第四家生产IC前道光刻机的企业。国内工业4.0 、智能制造的典型代表。在先进封装光刻机等领域，国内市场占有率超过80%，全球市场占有率为40%。

1、张江高科 ：持有上海微电 10.779%的股权，业绩国资，叠加房地产。
2、冠石科技 ：半导体掩膜版(28-45nm)，国内首屈一指（半导体掩膜版用在芯片制造的光刻环节，激光通过掩膜版后在晶圆所覆盖的光刻胶上实现曝光）。
3、联合精密 ：空调压缩机零部件龙头，供货美的集团 、格力电器 、海立股份 （海立与上海微电同属上海电气 集团，两者战略合作光刻机的冷却系统），先进制程光刻机需要真空环境作业，需要快速冷却，以确保高精度生产，对压缩机的要求苛刻。


4、蓝英装备 ：光刻机光学系统的清洗设备
5、奥普光电 ：光刻机曝光系统