苏大维格——激光光刻机的重大突破

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激光光刻 | 据报道，近日，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所张子旸研究员与国家纳米中心刘前研究员合作，开发成功新型5nm超高精度激光光刻加工方法。该技术使用了研究团队所开发的具有完全知识产权的激光直写设备，打破了传统激光直写技术中受体材料为有机光刻胶的限制，可使用多种受体材料，极大地扩展了激光直写的应用场景。

点评：亚10nm的结构在集成电路、光子芯片、微纳传感、光电芯片、纳米器件等技术领域有着巨大的应用需求，这对微纳加工的效率和精度提出了许多新的挑战。然而，长期以来激光直写技术很难做到纳米尺度的超高精度加工。此次中国研究团队很好地解决了高效和高精度之间的固有矛盾，开发的新型微纳加工技术在集成电路、光子芯片、微机电系统等众多微纳加工领域展现了广阔的应用前景。清溢光电主要采用激光直写法生产集成电路掩膜版，客户包括中芯国际等。苏大维格研发成功紫外激光直写光刻关键技术、软件和装备，处于国际领先地位。公司在互动平台表示，与中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所有项目合作。

中科院立功了！5nm光刻突破来得猝不及防，微纳加工领域迎来广阔前景

2020/07/08 07:20

打破有机光刻胶的限制。今日重要性：✨

据中科院7月7日官网报道称，近日，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所研究员张子旸与国家纳米中心研究员刘前合作，在Nano Letters上发表了题为5 nm Nanogap Electrodes and Arrays by a Super-resolution Laser Lithography的研究论文，报道了一种新型5nm超高精度激光光刻加工方法。

基于光热反应机理，研究团队设计开发了一种新型三层堆叠薄膜结构。在无机钛膜光刻胶上，采用双激光束（波长为405nm）交叠技术，通过精确控制能量密度及步长，实现了1/55衍射极限的突破（NA=0.9），达到了最小5nm的特征线宽。研究团队利用这种超分辨的激光直写技术，实现了纳米狭缝电极阵列结构的大规模制备。

此外，该研究使用了研究团队开发的具有完全知识产权的激光直写设备，利用激光与物质的非线性相互作用来提高加工分辨率，有别于传统的缩短激光波长或增大数值孔径的技术路径，打破了传统激光直写技术中受体材料为有机光刻胶的限制，可使用多种受体材料，扩展了激光直写的应用场景。

研究团队针对激光微纳加工中所面临的实际问题出发，解决了高效和高精度之间的固有矛盾，开发的新型微纳加工技术在集成电路、光子芯片、微机电系统等众多微纳加工领域展现了广阔的应用前景。

相关公司

苏大维格：公司此前牵头的国家重大科学仪器设备开发专项“纳米图形化直写与成像检测仪器的研发与应用”项目由公司联合中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、中国科学院上海光学精密机械研究所等 6 家单位共同完成。项目实现了从纳米光子晶体结构到微米级任意结构的高效率光刻，与目前其他激光直写技术相比，速度更快、效率更高。此外，公司已通过华为终端有限公司供应商资格认证。

柏楚电子：科创板公司，公司重点布局新产业超快精密微纳加工系统建设项目，把握 5G 网络建设大规模推进并开始商用的产业机会。此外公司研发微米级控制精度的精密微纳加工控制系统及上位机应用方案。实现系统方案在超快激光脆薄性材料加工领域中的量产。

清溢光电：公司主要采用激光直写法生产集成电路掩膜版，客户包括中芯国际等。

光刻机

 苏大维格——公司光刻设备主要为紫外光刻直写设备；公司光刻机从设计、组装以及所用软件的开发，均由本公司自主完成，主要用于柔性电子、MEMS以及半导体上游器件等产品的研发与制造

蓝英装备——公司控股子公司UCM AG为荷兰光刻机制造商ASML公司提供精密清洗解决方案

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光刻机（胶）系列技术突破股

蓝英装备（与荷兰巨头的关系）、容大感光（收购光刻胶）、奥普光电（国望光学的技术突破）、南大光电（光刻胶技术进步）、张江高科（投资上海微电子）......

那么，苏大维格在激光直刻技术上的重大创新（自主创新），市场会怎么样看？  ——师母已呆。

 苏大维格参与