电子级氢氟酸,英文名hydrofluoricacid,分子式HF,分子量20.01。为无色透明液体,相对密度1.15~1.18,沸点112.2℃,在空气中发烟,有刺激性气味,剧毒。能与一般金属、金属氧化物以及氢氧化物发生反应,生成各种盐类。腐蚀性极强,能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。易溶于水、醇,难溶于其他有机溶剂。高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂,可与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵等配置使用。电子级氢氟酸按其氟化氢及其它物质配比的含量主要分为以下规格:EL/UP/UP-S/UP-SS/UP-SSS。
主要应用:电子级氢氟酸主要用于集成电路工业中芯片清洗和腐蚀,是微电子技术加工过程中不可缺少的关键替代品之一;还可用于液晶显示器行业作为对玻璃基板、氧化硅、二氧化硅蚀剂;用于
太阳能行业硅表面清洗、蚀剂。随着个人电子数码产品(如手机、PDA、MP4、数码相机等)的普及和大规模集成电路的发展,市场需求量越来越大,质量要求也越来越高。