氮化镓下一个TWS

那么问题氮化镓（GaN）是靠什么制造的呢？答案是硅烷，硅烷不仅用于硅器件和硅集成电路，也用于化合物半导体器件氮化镓（GaN）、砷化镓、碳化硅等。

专利：用于制造氮化镓晶片的方法，本发明提供了一种用于制造氮化镓(GaN)晶片的方法。在根据实施方式的用于制造GaN晶片的方法中，在衬底上形成蚀刻阻挡层，且在所述蚀刻阻挡层上形成第一GaN层。使用硅烷气体蚀刻所述第一GaN层的一部分。

据统计，硅烷占晶圆制造过程中材料成本的14%左右，与掩膜版的成本占比相当，为仅次于硅片的第二大材料。据了解，我国电子和大规模集成电路行业的芯片进口总额去年高达4600亿美元。其中一个重要原因是缺乏高纯度晶体硅材料，而生产高纯晶体硅必须以高纯硅烷为基础。硅烷既可用于制造大规模集成电路芯片，又可用于生产多晶硅，经济效益很高。

相关硅烷标的：

精功科技（ 002006 ）：公司将持续跟踪半导体晶元生产工艺技术的应用领域、公司全资子公司浙江精功新材料技术有限公司主要从事多晶硅及装备技术、化工工艺设计、压力容器设计、工业废气处理等研发、制造业务，拥有硅烷颗粒硅生产的相关工艺技术，同时具备核心装备研发和整线生产线承接的能力，感谢您对精功科技的关注！

高纯硅烷（SiH4）是半导体工业、电子信息产业、新能源产业的基础原材料，广泛应用于半导体、太阳能等行业。

Q:氮化镓项目的进展情况

A:2014年我们与三安光电合资成立了三安集成电路有限公司,主要做砷化镓和氮化镓微波集成电路的生产线,现在生产线以砷化镓微波电路为主,也开发了氮化镓,氮化镓工艺能做到0.25微米。目前我们在合作优化工艺模型,不断开发完善生产线。我们自己的氮化镓产品会从国内其他厂家买一些做微波组件,也会研发一些功率放大器等,都已经做好了,包括K波段和X波段的功放,水平和国内一流水平基本旗鼓相当,需要继续完善才能投入更多商业用途。

（8）有研新材  600206  ：公司为国内靶材等半导体材料的龙头企业之一，也是国内水平砷化镓最大的供应商，旗下有研光电拥有如万片/年的GaAs衬底产能。

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