任何一种产品的制造,就其原料而言,有主料、辅料之分,其中辅料一般占的成本比例比较低。硅烷气会用到不假,但在氮化镓的化学气相沉积时,不是主料,学过高中甚至化学知识的就应该明白,硅烷气里面哪有镓元素啊。
首先大家要搞清楚的是产业链,那些基金的研究员至少也要把这个搞清楚吧。比如
三安光电是通过MOCVD工序,做出氮化镓的单晶薄膜,这层薄膜具有
半导体的性质,led发光芯片等都要基于它。而三安的MOCVD所用的原料里比较关键的是含镓的有机物,叫金属有机源,具体是三甲基镓,生产厂家主要有
南大光电。
至于碳化硅,就不是MOCVD了,是通过先把单晶生长出来再切片用。碳化硅晶体很不容易生长,跟硅烷气 更是一毛钱关系没有。当然氮化镓单晶体更难,所以干脆就没有走这条路的,只能采用MOCVD直接做成膜。
所以我搞不懂为啥单独把硅烷气列出来,硅烷气在很多地方都用的到,往往生产厂家也不只是生产这一种单一产品。